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數字量氣體質量流量計采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值去驅動控制調節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
數字量氣體質量流量計由質量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調節(jié)閥和放大控制電路組成，采用數字信號輸入輸出，具有預熱時間短，零漂小，可靠性高等特點。
流量控制器調節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成。
量程范圍 | 100SCCM～30SLM | |
測控范圍 | 量程比50:1 | |
準確度 | ±1.0%F.S | |
線性 | ±0.5%F.S | |
重復精度 | ±0.2%F.S | |
響應時間 | <2s | |
數字量 | RS232/485，MODBUS協(xié)議 | |
模擬量 | 0～5V、4-20mA、1～5V | |
供電 | ±15VDC，24VDC | |
工作溫度 | 0～50℃ | |
工作壓力 | 工作壓差：0.05~0.5Mpa | |
最大耐壓 | 3MPa/10MPa | |
電氣連接 | DB15孔 | |
漏率 | 1×10-9SCCSHe | |
溫度系數 | ±0.025%F.S/℃ | |
底座材質 | 316L | |
密封材質 | 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠 | |
接頭 | φ3，φ6，1/8"，1/4" |
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