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當(dāng)前位置:上海濱潤環(huán)??萍加邢薰?/a>>>去離子水設(shè)備>>去離子純水設(shè)備>> 195-3903-0624集成電路用超純水設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)195-3903-0624
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海市
更新時(shí)間:2024-05-08 14:31:51瀏覽次數(shù):79次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 化工儀器網(wǎng)去離子水設(shè)備學(xué)校醫(yī)院科研水處理純水機(jī)
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),制藥 |
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一、集成電路用超純水設(shè)備概述
集成電路電路板生產(chǎn)過程中,F(xiàn)PC/PCB濕流程絕大部分工藝都是相似的。各個(gè)工藝環(huán)節(jié)對純水的要求也是大同小異。我們在集成電路生產(chǎn)過程中常用到的電鍍銅,錫,鎳金;化學(xué)鍍鎳金;PTH/黑孔;表面處理蝕刻等生產(chǎn)過程都需要用到不同要求的純水。因?yàn)榫€路板生產(chǎn)過程中使用的藥水不同,生產(chǎn)工藝流程的差異,對純水的品質(zhì)要求也不一樣。最關(guān)鍵的指標(biāo)是:電導(dǎo)率(電阻率),總硅,pH值,顆粒度。線路板、電路板用純水因?yàn)楸旧砉に嚵鞒痰牟煌瑢兯圃斓墓に嚵鞒桃膊煌?。按照目前絕大部分集成電路線路板廠的使用情況來看,大概分為以下三種類型:預(yù)處理加離子交換純水系統(tǒng)。
集成電路用 超純水設(shè)備系統(tǒng)采用當(dāng)今先進(jìn)的全自動(dòng)雙級反滲透+EDI+拋光混床超純水處理技術(shù),前置預(yù)處理配套使用加反滲透處理,有效去除水中各種鹽份及雜質(zhì),然后運(yùn)用EDI及拋光混床系統(tǒng),進(jìn)一步提升水質(zhì),使出水達(dá)到用水工藝要求;系統(tǒng)采用全自運(yùn)控制,該設(shè)備具有產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定、操作簡便、運(yùn)行費(fèi)用低、維護(hù)方便等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于集成電路等工業(yè)水處理等相關(guān)行業(yè)。
二、集成電路用超純水設(shè)備工藝流程
集成電路超純水設(shè)備系統(tǒng)采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理四大步驟,多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法,電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm。
1、采用離子交換方式,其流程如下:
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點(diǎn)
2、采用兩級反滲透方式,其流程如下:
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點(diǎn)
3、采用EDI方式,其流程如下:
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機(jī)→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點(diǎn)
標(biāo)準(zhǔn)參考
顯像管、液晶顯示器用純水水質(zhì)(經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù))
集成電路用純水水質(zhì)
國家電子級純水標(biāo)準(zhǔn)
國家電子級純水標(biāo)準(zhǔn)
中國國家電子級超純水規(guī)格 GB/T 11446.1-1997
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