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          首頁(yè)   >>   技術(shù)文章   >>   40Mpa耐高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)及流量控制器

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          40Mpa耐高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)及流量控制器

          閱讀:670      發(fā)布時(shí)間:2024-7-5
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                大部分的質(zhì)量流量計(jì),流量控制器的耐壓程度在3Mpa或10Mpa左右,但是在一些應(yīng)用中需要更高的壓力,例如一些高壓縮氣體,高反應(yīng)釜。。。經(jīng)過(guò)我們多年的經(jīng)驗(yàn)及開(kāi)發(fā)測(cè)試,目前,氣體質(zhì)量流量計(jì)、流量控制器可以做到40~60Mpa的高耐壓性能。具體參數(shù)如下:

                 

          量程范圍:2SCCM~100SLM

          測(cè)控范圍:控制器閥控范圍50:1(流量計(jì)量程比100:1) 

          準(zhǔn)確度 ±0.5%F.S(滿(mǎn)量程)

          線性 ±0.25%F.S

          重復(fù)精度 ±0.2%F.S

          響應(yīng)時(shí)間 <0.2s <0.1s

          溫度系數(shù) ±0.025%F.S/℃

          工作溫度 0~50℃

          預(yù)熱時(shí)間 30S可用,5Min達(dá)到最佳狀態(tài)

          工作壓力 工作壓差:0.1~0.5Mpa(高壓差可定制) 工作壓降:<0.01Mpa

          最大耐壓 20MPa~60Mpa

          漏率1 x 10 Pa m3/S

          底座材質(zhì)不銹鋼

          接頭 φ8,φ10,φ12,卡套或法蘭安裝

          密封材質(zhì) 氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠,金屬密封

          外殼防護(hù)等級(jí) IP40

          安裝位置 水平安裝

          電氣連接 DB9孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插

          顯示狀態(tài) 帶液晶顯示、不帶液晶顯示

          數(shù)字量 RS232/485,MODBUS協(xié)議,PROFIBUS協(xié)議

          模擬量 0~5V、4-20mA、1~5V

          供電 24VDC、±15VDC


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