大部分的質(zhì)量流量計(jì)，流量控制器的耐壓程度在3Mpa或10Mpa左右，但是在一些應(yīng)用中需要更高的壓力，例如一些高壓縮氣體，高反應(yīng)釜。。。經(jīng)過我們多年的經(jīng)驗(yàn)及開發(fā)測試，目前，氣體質(zhì)量流量計(jì)、流量控制器可以做到40~60Mpa的高耐壓性能。具體參數(shù)如下：
量程范圍：2SCCM～100SLM
測控范圍：控制器閥控范圍50:1（流量計(jì)量程比100:1）
準(zhǔn)確度： ±0.5%F.S（滿量程）
線性： ±0.25%F.S
重復(fù)精度： ±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間： <0.2s <0.1s
溫度系數(shù)： ±0.025%F.S/℃
工作溫度： 0～50℃
預(yù)熱時(shí)間： 30S可用，5Min達(dá)到最佳狀態(tài)
工作壓力： 工作壓差：0.1~0.5Mpa(高壓差可定制） 工作壓降：<0.01Mpa
最大耐壓： 20MPa~60Mpa
漏率：1 x 10 Pa m3/S
底座材質(zhì)：不銹鋼
接頭： φ8，φ10，φ12，卡套或法蘭安裝
密封材質(zhì)： 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，金屬密封
外殼防護(hù)等級： IP40
安裝位置： 水平安裝
電氣連接： DB9孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插
顯示狀態(tài)： 帶液晶顯示、不帶液晶顯示
數(shù)字量： RS232/485，MODBUS協(xié)議，PROFIBUS協(xié)議
模擬量： 0～5V、4-20mA、1～5V
供電： 24VDC、±15VDC
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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