大部分的質量流量計,流量控制器的耐壓程度在3Mpa或10Mpa左右,但是在一些應用中需要更高的壓力,例如一些高壓縮氣體,高反應釜。。。經(jīng)過我們多年的經(jīng)驗及開發(fā)測試,目前,氣體質量流量計、流量控制器可以做到40~60Mpa的高耐壓性能。具體參數(shù)如下:
量程范圍:2SCCM~100SLM
測控范圍:控制器閥控范圍50:1(流量計量程比100:1)
準確度: ±0.5%F.S(滿量程)
線性: ±0.25%F.S
重復精度: ±0.2%F.S
響應時間: <0.2s <0.1s
溫度系數(shù): ±0.025%F.S/℃
工作溫度: 0~50℃
預熱時間: 30S可用,5Min達到最佳狀態(tài)
工作壓力: 工作壓差:0.1~0.5Mpa(高壓差可定制) 工作壓降:<0.01Mpa
最大耐壓: 20MPa~60Mpa
漏率:1 x 10 Pa m3/S
底座材質:不銹鋼
接頭: φ8,φ10,φ12,卡套或法蘭安裝
密封材質: 氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠,金屬密封
外殼防護等級: IP40
安裝位置: 水平安裝
電氣連接: DB9孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插
顯示狀態(tài): 帶液晶顯示、不帶液晶顯示
數(shù)字量: RS232/485,MODBUS協(xié)議,PROFIBUS協(xié)議
模擬量: 0~5V、4-20mA、1~5V
供電: 24VDC、±15VDC
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