氣體流量控制器在一些應(yīng)用中需要用到充氣量的累積值,那么如何精準(zhǔn)控制累積充氣量呢?
在我司的MFC功能中,設(shè)置了到累積流量值后自動(dòng)設(shè)定瞬時(shí)流量值為0 的功能。
首先在表體內(nèi)設(shè)定所需要的累積流量(累積氣量),然后設(shè)定進(jìn)氣的實(shí)時(shí)流量(瞬時(shí)流量),MFC會(huì)開(kāi)啟累積功能,當(dāng)累積流量達(dá)到所設(shè)定目標(biāo)值后,就會(huì)自動(dòng)停止供氣。
這種控制方式既可以在表體屏幕上操作也可以通過(guò)電腦等上位機(jī)控制,配備有485Modbus通訊。
此款流量控制器的其它技術(shù)參數(shù)如下:(另有0.5%FS精度可選)
技術(shù)指標(biāo):
ACU10FD-LC 質(zhì)量流控制器
量程范圍:2SCCM ~ 300SLM
控制器閥控范圍: 50:1
準(zhǔn)確度:±1.0%F.S
線(xiàn)性:±0.5%F.S
重復(fù)精度::±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間:<1.5S
數(shù)字量:RS232/485,MODBUS 協(xié)議
模擬量:0 ~ 5V、4-20mA、1 ~ 5V
供電:±15VDC,24VDC
工作溫度:0 ~ 50℃
工作壓差:0.05 ~ 0.5MPa;
最大耐壓:3MPa/10MPa
電氣連接:DB15 孔
漏率:1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù):±0.025%F.S/℃
底座材質(zhì):不銹鋼
密封材質(zhì):氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠
接頭:φ3,φ6,1/8",1/4",1/2"。。。卡套,VCR..(可按客戶(hù)要求匹配)
如果有其它定制參數(shù)請(qǐng)與頁(yè)面的產(chǎn)品經(jīng)理溝通。
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