光刻機(jī)用冷水機(jī)中閥門的安裝方法

光刻機(jī)用冷水機(jī)中閥門的安裝方法

　　在光刻機(jī)用冷水機(jī)中，閥門的主要功能是控制制冷劑的流量和方向。在日常使用中，經(jīng)常使用閥門。當(dāng)行業(yè)冷水機(jī)需要停止或打開時(shí)，需要使用閥門。由于其日常使用頻率很高，因此在安裝過程中應(yīng)多加注意，以確保其正常使用而不會(huì)影響工業(yè)的穩(wěn)定性冷水機(jī)。

　　1.閥門應(yīng)安裝在易于拆卸和維護(hù)的地方。在安裝各種閥門時(shí)，請(qǐng)注意制冷劑的流動(dòng)方向，不要以相反的方向安裝它們。

　　2.安裝光刻機(jī)用冷水機(jī)的法蘭閥時(shí)，須在法蘭板和閥法蘭上加高壓石棉板，并根據(jù)閥門上法蘭槽的深度確定高壓石棉板的厚度。當(dāng)閥門較大而槽較深時(shí)，應(yīng)使用較厚的石棉板，以免它們之間的凹凸面界面容易留有間隙且密封不緊密。組裝法蘭閥時(shí)，請(qǐng)確保所有螺栓受力均勻，否則，凹凸面容易產(chǎn)生偏斜。

　　3.截止閥的安裝應(yīng)使工作流體從閥的??底部流到上部。在水平管道上安裝時(shí)，閥桿應(yīng)垂直向上或傾斜一定角度，并且閥桿不得向下。如果閥門位置難以接近或過高，可以將閥桿水平安裝以方便操作。

　　4.在為光刻機(jī)用冷水機(jī)安裝止回閥時(shí)，閥芯應(yīng)能夠自動(dòng)打開。對(duì)于提升止回閥，閥芯的線和水平面應(yīng)相互垂直。對(duì)于旋啟式止回閥，應(yīng)確保閥芯板的旋轉(zhuǎn)，并且閥芯板須水平安裝。

　　5.靠譜閥應(yīng)直接安裝在設(shè)備出口的截止閥上，閥體上的箭頭應(yīng)與工作介質(zhì)的流向一致。

　　6.電磁閥須水平安裝在設(shè)備的出口處，并位于定的位置。

7.光刻機(jī)用冷水機(jī)中的熱力膨脹閥也須水平安裝。