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當(dāng)前位置:無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司>>元器件高低溫測試機(jī)>>蝕刻機(jī)用冷水機(jī)>> AES-4535蝕刻機(jī)冷卻裝置的保養(yǎng)及操作需要注意的問題
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號AES-4535
品 牌LNEYA/無錫冠亞
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地無錫市
更新時間:2024-01-07 19:06:40瀏覽次數(shù):1754次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)光刻機(jī)冷卻機(jī)組保養(yǎng)維護(hù)須知
半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護(hù)保養(yǎng)要細(xì)節(jié)
蝕刻機(jī)水冷機(jī)需要注意的選購細(xì)節(jié)有哪些
光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
---|---|---|---|
冷卻方式 | 風(fēng)冷式 | 儀器種類 | 一體式 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車 |
型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
溫度范圍 | -45℃~225℃ | -60℃~225℃ | -80℃~225℃ | -100℃~225℃ | -120℃~225℃ | |
制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
-60℃ | 2kW | |||||
-80℃ | 1.5kW | |||||
-100℃ | 1.2kW | |||||
-120℃ | 1.2kW | |||||
溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
溫度轉(zhuǎn)換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度:5℃~32℃ 0~50%RH | |||||
空氣處理能力 | 7m³/h ~ 25m³/h 壓力5bar~7.6bar | |||||
系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)(高壓、低壓) 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
控制器 | 西門子PLC,模糊PID控制算法 | |||||
溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
可編程 | 可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟 | |||||
通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有) | |||||
溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
壓縮機(jī) | 法國泰康/艾默生 | |||||
蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥) | |||||
操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
安全防護(hù) | 具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù);高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
外型尺寸(風(fēng))cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
外型尺寸(水)cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
水冷冷凝器 | 板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔) | |||||
冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035) | |||||
溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ |
蝕刻機(jī)冷卻裝置的保養(yǎng)及操作需要注意的問題
蝕刻機(jī)冷卻裝置的保養(yǎng)及操作需要注意的問題
當(dāng)蝕刻機(jī)冷卻裝置在啟動之前不需要打開裝置上的冷凝器的進(jìn)氣閥時,發(fā)生水竄。一部分冷卻回水從非啟動冷凝器流出,減少了運(yùn)行單元冷凝器內(nèi)的冷卻水流量,使冷凝壓力上升,主機(jī)運(yùn)行電流增加,冷卻單位的能力下降。蝕刻機(jī)冷卻裝置嚴(yán)重的是,該裝置將停止運(yùn)行,這會浪費(fèi)電力,降低制冷效果并且容易損壞裝置。因此,在啟動之前不必關(guān)閉裝置的冷凝器的進(jìn)水閥以防止水竄。
由于不需要打開的單元上的冷凝器的入口閥未關(guān)閉,因此主發(fā)動機(jī)的冷凝壓力和冷卻水的出口溫度增加。這會對操作員造成誤判,誤認(rèn)為冷卻水不足,擴(kuò)大了冷凝器和冷卻水泵的進(jìn)出閥門,有些還增加了冷卻塔風(fēng)扇,導(dǎo)致水泵和冷卻塔風(fēng)扇的功耗增加。
在啟動之前應(yīng)注意蝕刻機(jī)冷卻裝置。
有必要檢查設(shè)備的電源是否正確連接。首先,將系統(tǒng)中的水煮沸,然后將冷卻器煮沸。裝置周圍是否有異常?蝕刻機(jī)冷卻裝置的水箱和冷凝器須注滿水。不要在沒有水的情況下運(yùn)行檢查制冷(但)水閥是否已打開,水箱是否處于待機(jī)狀態(tài),冷卻泵是否試圖*運(yùn)行。
蝕刻機(jī)冷卻裝置的維護(hù);
保持清潔,保持空氣流通,低溫,避免雜物進(jìn)入,降低散熱效果。工業(yè)用蝕刻機(jī)冷卻裝置請保持冷卻盤管表面清潔,保證空氣流通,低溫,定期清洗盤管結(jié)垢,確保良好的傳熱效果。如果蝕刻機(jī)冷卻裝置已使用半年以上,或制冷量減少,或高/低壓開關(guān)經(jīng)常發(fā)生故障,請安排工作人員清潔冷凝器。
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