襯底載物平臺(tái):XY方向兩軸手動(dòng)平移,臺(tái)面60mm x 60mm,行程25mm,調(diào)節(jié)精度優(yōu)于2μm;繞Z軸旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié),臺(tái)面φ85mm,360°粗調(diào),±5°精調(diào),可視分辨率優(yōu)于0.8′;水平傾斜調(diào)節(jié),臺(tái)面60mm x 60mm,調(diào)節(jié)范圍±2°,最小調(diào)整量5′;真空吸附加熱樣品臺(tái),高溫~240℃,PID溫控器,控溫精度優(yōu)于±0.1℃,高熱導(dǎo)率加熱臺(tái)面,帶散熱冷卻模塊,升降溫速度快。
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