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真空管式爐管式爐是實(shí)驗(yàn)室常用的材料燒結(jié)設(shè)備。那么管式爐有哪些種類呢?
1按照管式爐的溫度和加熱元件分,有1200℃的電阻絲管式爐,有1400℃的硅碳棒管式爐,也有1600度的硅鉬棒管式爐。
2、按照爐管材質(zhì)分,有石英管管式爐,不銹鋼管管式爐和剛玉管管式爐。
3、按照加熱部結(jié)構(gòu)分,有開啟式管式爐和一體式管式爐。
4、按照爐體結(jié)構(gòu)分有,水平管式爐、立式(豎式)管式爐、多工位管式爐、傾斜管式爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、滑軌管式爐。
5、按照控溫區(qū)域可以飛為單溫區(qū)管式爐和多溫區(qū)管式爐(比如,雙溫區(qū)管式爐,三溫區(qū)管式爐,五溫區(qū)管式爐等)
7、還可以按照真空度分為高、低真空管式爐
8、其它的也可按用途也:比如快速退火管式爐,CVD管式爐、PECVD管式爐等。
管式爐的應(yīng)用范圍較廣,給管式爐分類是為了較好的理解管式爐的性能和工作方式,平時(shí)工作中也有一些約定俗成的叫法。
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