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61.3 蝶形控制閥可提供出色的壓力控制性能。憑借其快速且精準(zhǔn)的作用動(dòng)作控制器（0.1 秒），61.3 蝶形控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細(xì)控制的理想解決方案。閥板可充當(dāng)節(jié)流元件，改變閥門開度的流導(dǎo)特性。61.3 蝶形控制閥的集成壓力控制器可計(jì)算所需的閥板位置，以盡快實(shí)現(xiàn)設(shè)定壓力。

該系列產(chǎn)品專為氣流中有粒子的惡劣下游工藝設(shè)計(jì)。即使粒子載荷高并且存在因設(shè)計(jì)而沉積的碎屑，61.3 蝶形控制閥仍能夠保持正常運(yùn)行。

61.3 系列已經(jīng)安裝在數(shù)千個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其可靠性。憑借堅(jiān)固的設(shè)計(jì)、直接安裝選項(xiàng)，以及簡(jiǎn)單且輕松的維護(hù)，61.3 系列在各個(gè)方面都令人信服。

閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應(yīng)、固定 PI 下游/軟抽）方面的各種設(shè)計(jì)選項(xiàng)可簡(jiǎn)化在不同真空應(yīng)用中的集成。

特點(diǎn)：

好的壓力控制

運(yùn)行非常快

板載軟件，用于本地運(yùn)行

惡劣工藝條件下可實(shí)現(xiàn)可靠運(yùn)行

優(yōu)勢(shì)：

工藝可控性更好

正常運(yùn)行時(shí)間長/性能不受限

運(yùn)行成本低

技術(shù)參數(shù)：

尺寸

DN 25 (1")

驅(qū)動(dòng)器

步進(jìn)電機(jī)

材料

鋁

法蘭

ISO-KF

控制器配置

SPS

控制器接口+感應(yīng)器

邏輯（A/D）/2個(gè)感應(yīng)器

低壓力

1 × 10-8 mbar

最高壓力

1.2 bar (abs)

泄漏率

1 × 10-9 ls-1

循環(huán)直到第一次維修

2 000 000

最高溫度閥體

≤ 150 °C

密封

FKM

閘門上的壓差

≤ 1 bar

典型的關(guān)閉或開放時(shí)間

90 ms

最小可控電導(dǎo)率(N2分子流)

0.15 ls-1

最大電導(dǎo)率(N2分子流)

22 ls-1

重量

2.2 kg / 4.85 lbs

vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAE-0001

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