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			一種在曝光光刻中使用的立體模板及其制備方法
			
          
			
			
          
				
          
					
          發(fā)證機(jī)構(gòu)：
          
					
          中華人民共和國(guó)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

          
				                      
          生效日期：
          2016-01-12

          
                                    
          截止日期：
          2036-01-11
          				
				
          認(rèn)證簡(jiǎn)介：
					 
				
          
			
          
		
          
		
          
			
          上一篇：
             一種基于褶皺的金屬表面納米結(jié)構(gòu)制備方            
          下一篇：
             一種采用激光直寫制備薄膜降反結(jié)構(gòu)的方             
          
		
          
	
          





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