半導體溫控設備Chiller主要用于半導體制程中對多路反應腔室的精準控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構成，采用先進的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應速度。在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性。
半導體溫控設備chiller由制冷，加熱單元，循環(huán)，控制系統(tǒng)組成，全密封結構對環(huán)境友好，產品系統(tǒng)多，控溫范圍廣，智能化控制軟件，加熱制冷速度快。
產品分為：
1.單通道系列
2.雙通道系列
3.三通道系統(tǒng)
產品細節(jié)：
半導體溫控設備chiller參數(shù)說明：
| 名稱 | 參數(shù) | 名稱 | 參數(shù) | 名稱 | 參數(shù) | |
| 1 | 單通道系列 | -20℃~+80℃ | 雙通道系列 | -45℃~+40℃ | 三通道系列 | -20℃~+50℃ |
| 2 | 溫度范圍 | ±0.1℃ | 溫度范圍 | ±0.2℃ | 溫度范圍 | ±0.1℃ |
| 3 | 精度 | 2kw@-10℃ | 精度 | 11kw@-20℃/5kw@-40℃ | 精度 | 15kw@-10℃ |
| 4 | 冷卻能力 | 3kw | 冷卻能力 | 2kw | 冷卻能力 | 2kw |
| 5 | 加熱能力 | 20LPM@0.6MPa | 加熱能力 | 17LPM@0.6MPa | 加熱能力 | 30LPM@0.85MPa |
| 6 | 流量 | Rc3/4" | 流量 | Rc3/4" | 流量 | Rc3/4" |
| 7 | 端口大小 | 15~20°C | 端口大小 | 15~20°C | 端口大小 | 15~20°C |
| 8 | 溫度范圍 | 15LPM | 溫度范圍 | 30LPM | 溫度范圍 | 30LPM |
| 9 | 所需流量 | Rc1/2" | 所需流量 | Rc1/2" | 所需流量 | Rc3/4"*2 |
| 10 | 端口大小 | 0.3~0.7MPa | 端口大小 | 0.3~0.7MPa | 端口大小 | 0.3~0.7MPa |
| 11 | 進口壓力 | / | 進口壓力 | / | 進口壓力 | / |
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