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目視晶圓缺陷400,000luxes照明裝置YP-150ID
目視晶圓缺陷400,000luxes照明裝置YP-150ID
產(chǎn) 品 特 點
1. 大于 400,000luxes的照明光線可容易檢測出只有精密探測儀才可測出的瑕疵。(照射面積為 30mmdia).
2. 使用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,色溫高達(dá)3400K,照光和顏色均一了穩(wěn)定強光的照射。
3. 由于冷鏡的使用,使得熱影響與常規(guī)鋁鏡相比較少1/2 到 1/3
4. 光束直徑由鏡片調(diào)整30-50mm 之間調(diào)整
5. 底部開光,調(diào)整照明勘察器高度,操作簡便,可控制光量
高強度鹵素光源裝置 是一種宏觀觀察照明裝置,用于檢測
最終成品表面上的各種缺陷,如異物、劃痕、拋光不均勻、霧霾、滑移等,是工件加工過程中勞動強度最大的部分。半導(dǎo)體晶片和液晶基板
YP-150I 照度范圍:30mmφ
YP-250I 照度范圍:60mmφ
超精密平面檢測的理想選擇!通過驚人的照明,可以檢測小于 0.2 μm 的缺陷。
YP-150I"是一種用于顯微觀察的照明裝置,用于檢測
最終成品表面上的各種缺陷,如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等,是半導(dǎo)體加工過程中勞動強度的一種。晶圓和液晶板
另外,由于采用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,色溫高?/p>
光照不均勻的情況很少,光照***穩(wěn)定銳利。
姊妹機“YP-250I"也可用于 8 英寸。
光源采用鹵素?zé)?/p>
■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高
■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3
■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換
請用于超精密平面檢測!
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