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什么是靜電計(jì)?
靜電儀器是測(cè)量物體表面產(chǎn)生的靜電電壓的裝置。
這是一種配備有表面電位傳感器的裝置,可以進(jìn)行非接觸式測(cè)量,通過(guò)將表面電位傳感器指向待測(cè)物體來(lái)測(cè)量表面電位。測(cè)量靜電的設(shè)備也稱(chēng)為表面靜電計(jì)或靜電電位測(cè)量設(shè)備,主要用于制造業(yè)的生產(chǎn)過(guò)程,但也出售與安裝環(huán)境兼容的設(shè)備。
靜電計(jì)的用途
以下問(wèn)題都是由生產(chǎn)過(guò)程中的靜電引起的,但為了采取措施預(yù)防這些問(wèn)題,首先需要準(zhǔn)確測(cè)量靜電的產(chǎn)生量。在驗(yàn)證和評(píng)估對(duì)策的有效性時(shí)也會(huì)測(cè)量靜電的大小。根據(jù)工藝的不同,它可以用于持續(xù)監(jiān)控靜電產(chǎn)生的狀態(tài)。
1.異物附著
這可能會(huì)導(dǎo)致帶電異物(灰塵等)附著在帶電產(chǎn)品上等問(wèn)題。例如,在噴漆過(guò)程中會(huì)造成涂層不均勻。
2.靜電損壞(ESD損壞)
半導(dǎo)體元件(例如集成電路)的電路元件可能會(huì)被靜電放電損壞。
3. 故障
當(dāng)靜電釋放時(shí),以微小電流和電壓運(yùn)行的設(shè)備(電子天平、重量檢查器、金屬探測(cè)器等)可能會(huì)受到電磁噪聲的影響。
4、對(duì)人體的放電等。
帶電物體向人體釋放靜電,不僅會(huì)給人體帶來(lái)疼痛和不適,還會(huì)引起設(shè)備故障和火災(zāi)(點(diǎn)燃可燃物)。
靜電計(jì)原理
當(dāng)物體表面帶電并產(chǎn)生靜電時(shí),周?chē)蜁?huì)產(chǎn)生電場(chǎng)。靜電計(jì)測(cè)量該電場(chǎng)強(qiáng)度并計(jì)算靜電電壓。一般靜電計(jì)(表面靜電計(jì))的原理如下。
表面電位傳感器利用靜電感應(yīng)現(xiàn)象,當(dāng)檢測(cè)電極接收到來(lái)自帶電物體的靜電場(chǎng)強(qiáng)度Eo(與充電電壓Vo成正比)時(shí),檢測(cè)電極表面就會(huì)積累感應(yīng)電荷q。因此,如果在檢測(cè)電極和物體之間放置一塊足夠覆蓋整個(gè)檢測(cè)電極的屏蔽板并以恒定速度旋轉(zhuǎn),則檢測(cè)電極中積累的感應(yīng)電荷q將在被屏蔽覆蓋的瞬間被釋放。當(dāng)屏蔽板經(jīng)過(guò)時(shí),也會(huì)積聚感應(yīng)電荷q。電荷q的周期性運(yùn)動(dòng),或者說(shuō)交流電流Is的大小,取決于電場(chǎng)強(qiáng)度,因此通過(guò)測(cè)量電流Is,可以確定物體表面的帶電電壓Vo。
然而,利用上述測(cè)量方法,測(cè)量值很大程度上取決于表面電位傳感器和測(cè)量目標(biāo)之間的距離。隨著與測(cè)量目標(biāo)距離的增加,電場(chǎng)減弱,因此測(cè)量值不可避免地會(huì)顯得較小。因此,需要保持測(cè)量目標(biāo)與表面電位傳感器之間的規(guī)定距離。
另外,還有電壓反饋式表面電位計(jì)作為解決上述取決于測(cè)量距離的問(wèn)題的裝置。這將高壓電源連接至檢測(cè)電極并調(diào)節(jié)高壓電源的電壓輸出使得交流電流Is變?yōu)榱?。?dāng)被測(cè)物體的電壓與傳感器的電壓相同時(shí),電流Is停止流動(dòng),因此此時(shí)高壓電源的輸出電壓可以說(shuō)等于被測(cè)物體的充電電壓。被測(cè)量。
靜電計(jì)的使用方法
要使用通用靜電計(jì)測(cè)量帶電物體的靜電,請(qǐng)按照以下步驟操作。
1. 將表面電位傳感器放置在靜電計(jì)確定的距離處,表面電位傳感器的檢測(cè)電極與待測(cè)表面平行。
2. 將測(cè)量范圍設(shè)置為高于預(yù)期電壓并開(kāi)始測(cè)量。獲得粗略測(cè)量值后,調(diào)整測(cè)量范圍并使用測(cè)量值。
用電壓反饋表面電位計(jì)測(cè)量時(shí),表面電位傳感器的檢測(cè)電極與被測(cè)物體表面平行放置,但無(wú)需嚴(yán)格確定與物體的距離。逐漸增加高壓電源的電壓,找到流向檢測(cè)電極的交流電流變?yōu)榱愕狞c(diǎn)。此時(shí)高壓電源的輸出電壓就成為被測(cè)物體的帶電電壓,測(cè)量值的單位為V或KV。通過(guò)假設(shè)靜電的最大電壓來(lái)選擇合適的設(shè)備非常重要。
有關(guān)靜電計(jì)的其他信息
靜電產(chǎn)生的原因及預(yù)防
已知以下機(jī)制會(huì)產(chǎn)生靜電。
1、剝離充電
當(dāng)重疊的物體被剝離時(shí),例如當(dāng)從塑料片上除去保護(hù)膜時(shí),就會(huì)發(fā)生這種情況。
2.摩擦充電
當(dāng)物體相互摩擦?xí)r,例如混合東西、脫衣服或電機(jī)旋轉(zhuǎn)時(shí),就會(huì)發(fā)生這種情況。
3.其他靜電荷
由于粉碎、粉末帶電等原因,靜電計(jì)用于測(cè)量暴露在此類(lèi)條件下的物體的靜電。特別是半導(dǎo)體部件,由于靜電放電而發(fā)生故障的可能性很高,因此需要定期使用靜電計(jì)檢查工序。下面列出了生產(chǎn)過(guò)程中測(cè)量目標(biāo)的具體示例。
裝有各種半導(dǎo)體和其他電子元件及其部件的托盤(pán)、其保護(hù)膜和存儲(chǔ)架。
工作服、工作鞋、工作流程桌、椅子、地板表面
接地帶和接地附件部分
制造設(shè)備,如制造設(shè)備、檢查機(jī)、夾具和工具、烙鐵等。
工作標(biāo)準(zhǔn)和保護(hù)它們的塑料外殼
監(jiān)控顯示區(qū)域
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