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貨物所在地:浙江杭州市
更新時(shí)間:2024-07-02 21:22:17
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性能參數(shù)
l 域勢(shì)很高興為您提供本公司的真空閥。這些閥門(mén)是長(zhǎng)期精心研發(fā)的成果,旨在確保產(chǎn)品質(zhì)量、可靠性和價(jià)值。我們竭盡全力提供適合不同客戶要求的閥門(mén)系列。我們的閥門(mén)能在各種應(yīng)用場(chǎng)合中可靠運(yùn)行,包括存在化學(xué)和微粒污染的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)。
l 使用壽命長(zhǎng)。
l 不銹鋼焊接波紋管密封。
l Viton,密封圈可間歇性烘烤至200℃。
l 結(jié)構(gòu)緊湊。
l 通過(guò)電磁閥進(jìn)行簡(jiǎn)單控制。
l 維護(hù)簡(jiǎn)單快捷。
l 手動(dòng)或電氣動(dòng)操作或安全故障操作(氣壓損失時(shí)關(guān)閉)。
規(guī)格
l 閥體 SUS304(可根據(jù)要求提供其他材質(zhì))
l 提升閥 SUS304(可根據(jù)要求提供其他材質(zhì))
l 波紋管 焊接AM-350(選配)
l 電磁閥 選配
l 位置指示器 選配
l 密封 Viton O型圈
l 泄漏率 2x10-9mbar.1/s
l 壓力范圍 1x10-9mbar至1000mbar Viton密封圈
l 開(kāi)啟前的最大壓力△ 1.2Bar
l 工作氣壓 4-6.5kg/cm2
l 維修前的循環(huán)次數(shù) 波紋管型:16至50-50,000;63至150-250,000;200至250-80,000
非波紋管型:16至50-200,000;63至250-10,000(取決于O型圈的狀況)
(非波紋管型建議垂直安裝)
l 耐溫限制:
耐溫 | 閥體 | O型圈閥蓋密封 | 開(kāi)≤100℃ |
關(guān)≤100℃ | |||
金屬密封圈密封 | 開(kāi)≤200℃ | ||
關(guān)≤150℃ | |||
手動(dòng)和氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器 | ≤80℃ |
l 可根據(jù)要求提供更大或特殊尺寸。
用途
l KF、ISO和ANSI端口型號(hào)專為真空壓力接近10-9torr且烘烤溫度不超過(guò)150℃的高真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。標(biāo)準(zhǔn)的國(guó)際KF/ISO配置和ANSI配置用于需要易于安裝和拆卸的法蘭式密封的區(qū)域。
l CF端口型號(hào)專為真空壓力接近10-10torr且烘烤溫度不超過(guò)200℃的超真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。在使用OFHC無(wú)氧銅墊片而非傳統(tǒng)的Viton O型圈時(shí),這些閥門(mén)具有更高的烘烤溫度、更低的真空壓力(釋氣最少),以及更低的真空漏率。它們還常用于需要更持久密封的應(yīng)用。
手動(dòng)帶波紋管CF法蘭Y型閥門(mén)
手動(dòng),帶波紋管
CF法蘭
手動(dòng)帶波紋管CF法蘭Y型閥門(mén)
性能參數(shù)
l 不銹鋼閥體表面處理:低于4英寸拋光
l 端口外徑為3/4-2英寸(19.05-50.8mm)
l Viton密封圈:真空度10-9mbar
規(guī)格:美規(guī)
型號(hào) | A’’(mm) | B’’(mm) | C’’(mm) | D’’(mm) | O.D.’’(mm) | 料號(hào) |
YVB-CR16-M | 4.70’’(119.4) | 3.89’’(98.7) | 4.43’’(112.5) | 2.24’’(56.8) | 0.75’’(19.05) | 304109030016 |
YVB-CR35-M | 5.24’’(133) | 4.89’’(124.2) | 5.80’’(147.2) | 2.98’’(75.8) | 1.50’’(38.1) | 304113030016 |
注:除非另有說(shuō)明,否則尺寸單位為英寸(毫米)。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)