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貨物所在地：浙江杭州市
更新時(shí)間：2024-09-30 11:33:54
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新型 INFICON Pirani /Piezo 組合真空計(jì) (INFICON英福康PPG550皮拉尼真空計(jì)) 基于目前非常*進(jìn)的 MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)。
在MEMS過程中微型化的Pirani/Piezo組合技術(shù)，能夠構(gòu)建一個(gè)非常小的、從而節(jié)省空間的傳感器，這使得測量設(shè)備的整體高度非常低成為可能。
除了高度低的優(yōu)勢外，基于MEMS技術(shù)的皮拉尼還具有在高壓范圍內(nèi)比傳統(tǒng)皮拉尼測量更深、更準(zhǔn)確的優(yōu)勢。與安裝在同一法蘭上的MEMS壓電傳感器相結(jié)合，皮拉尼真空計(jì)成為一個(gè)真正的寬范圍真空計(jì)，其測量范圍遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過通常的1000mbar，也可延伸到大氣壓層。同時(shí)，MEMS壓電傳感器提供獨(dú)立于氣體類型的壓力測量，范圍為2 ...1333毫巴。上述技術(shù)的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是增加了對加速力和振動(dòng)的抵抗力。
最后但并非最不重要的是，新的INFICON PPG550可以用來直接取代所謂的MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™-絕對壓電真空壓力傳感器 "以及MKS925 "Micro Pirani™真空壓力傳感器"。Inficon提供了相同的連接器/引腳分配，模擬輸出和RS232/485兼容性。
INFICON英?？礟PG550皮拉尼真空計(jì)
優(yōu)勢
l 2mbar以上的氣體類型獨(dú)立--允許任何氣體混合物的安全排放
l 大氣層的高精度和可重復(fù)性--用于可靠、快速的大氣壓力檢測
l 多種安裝方向--為工具設(shè)計(jì)提供工程自由度
l 可選擇模擬輸出信號，便于系統(tǒng)集成
l 數(shù)字接口RS232/RS485
l 符合標(biāo)準(zhǔn)。CE, EN, UL, CSA, RoHS
l 能夠直接替換MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™ - Absolute Piezo Vacuum Pressure Transducers" 以及MKS925 "Micro Pirani™ Vacuum Pressure Transducers" 。
l DualTrans™ MicroPirani™是MKS Instruments, Andover, MA的注冊商標(biāo)。
l 合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn)。CE, EN, UL, CSA, RoHS
典型應(yīng)用
l 在分析設(shè)備/質(zhì)譜儀中使用
l 物理氣相沉積
l 前線測量
l 氣體回填
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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