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Sumitomo住友（SHI）公司出品。Marathon CP系列低溫泵具有標(biāo)準(zhǔn)外型、超薄外型、手動(dòng)功能、自動(dòng)功能、不同類型法蘭接口等選項(xiàng)供用戶選擇，并且可以在不破壞真空度或不將低溫泵從真空腔內(nèi)移出的情況下進(jìn)行現(xiàn)場維護(hù)，延長使用壽命。抽速從1500L/S-9700L/S。

SUMITOMO/住友 CP系列低溫泵

Marathon CP系列低溫泵

Sumitomo住友（SHI）公司出品。

Marathon CP系列低溫泵具有標(biāo)準(zhǔn)外型、超薄外型、手動(dòng)功能、自動(dòng)功能、不同類型法蘭接口等選項(xiàng)供用戶選擇，并且可以在不破壞真空度或不將低溫泵從真空腔內(nèi)移出的情況下進(jìn)行現(xiàn)場維護(hù)，延長使用壽命。抽速從1500L/S-9700L/S。

技術(shù)特點(diǎn)：

l 多種接口安裝方式可選

l 結(jié)合Marathon® 低溫泵控制器可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)再生控制

l 采用Displex® 氣動(dòng)技術(shù)

l 自帶設(shè)定點(diǎn)繼電器

l 可就地維修無需破壞真空

典型應(yīng)用：

l 物理氣相沉積（PVD）

l 離子注入

l 化學(xué)氣相沉積（CVD）

l 分子束外延

l 其他/實(shí)驗(yàn)室低溫恒溫器

l 加速器

l 真空爐

l 薄膜沉積

技術(shù)參數(shù)：

		CP-8	CP-8LP	CP-250LP	CP-12	CP-16	CP-20
空氣 (升/秒)		1,500	1,800	3,000	3,600	4,800	9,700
水蒸氣 (升/秒)		4,200	4,200	6,300	9,560	17,300	29,100
氬氣 (升/秒)		1,250	1,500	2,500	3,100	4,100	8,300
氫氣 (升/秒)		2,300	3,000	5,000	7,300	12,000	14,000
氬氣吞吐量 (托-升/秒)		11.0	11.0	11.0	12.6	11.4	11.3
氬氣吸附能力 (標(biāo)升)		1,200	1,600	1,600	3,100	5,500	6,000
氫氣吸附能力 (標(biāo)升)		25	23	30	50	50	33
Crossover Rating (托升)		220	220	300	650	500	400
重量		35 lbs. (16.8 kg)	39.5 lbs. (17.9 kg)	44 lbs. (20 kg)	90 lbs. (41 kg)	110 lbs. (50 kg)	170 lbs. (77 kg)
壓縮機(jī)選型	Zephyr壓縮機(jī)	•	•	•
	HC-4E1壓縮機(jī)	•	•	•
	HC-8E4壓縮機(jī)	•	•	•	•	•
	F-70壓縮機(jī)	•	•	•	•	•	•

Marathon CP系列低溫泵

尺寸圖

以：CP-250LP為例，更多型號(hào)尺寸圖請于域勢科技技術(shù)工程師聯(lián)系。

Marathon CP系列低溫泵

訂貨選型

	CP-8	CP-8LP	CP-250LP	CP-12	CP-16	CP-20
空氣 (升/秒)	1,500	1,800	3,000	3,600	4,800	9,700
水蒸氣 (升/秒)	4,200	4,200	6,300	9,560	17,300	29,100
氬氣 (升/秒)	1,250	1,500	2,500	3,100	4,100	8,300
氫氣 (升/秒)	2,300	3,000	5,000	7,300	12,000	14,000
氬氣吞吐量 (托-升/秒)	11.0	11.0	11.0	12.6	11.4	11.3
氬氣吸附能力 (標(biāo)升)	1,200	1,600	1,600	3,100	5,500	6,000
氫氣吸附能力 (標(biāo)升)	25	23	30	50	50	33
Crossover Rating (托升)	220	220	300	650	500	400