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池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司
中級(jí)會(huì)員·2年
UR600ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 真空泵
| 參考價(jià): | ￥ 30050 |
| 訂貨量: | 1臺(tái) |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- UR600 產(chǎn)品型號(hào)
- ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷(xiāo)商 廠(chǎng)商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)：253更新時(shí)間：2024-05-29 11:51:47
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- 周璇
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 泵軸位置 | 其他 | 抽氣量 | 見(jiàn)參數(shù) |
|---|---|---|---|
| 抽氣速率 | 見(jiàn)參數(shù)l/s | 電壓 | 見(jiàn)參數(shù)V |
| 功率 | 見(jiàn)參數(shù)kW | 極限壓力 | 見(jiàn)參數(shù)pa |
| 流量 | 見(jiàn)參數(shù)m3/h | 排出口徑 | 見(jiàn)參數(shù)mm |
| 輸送介質(zhì) | 其他 | 外形尺寸 | 見(jiàn)參數(shù) |
| 揚(yáng)程 | 見(jiàn)參數(shù)m | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 食品,化工,能源,建材,綜合 | 重量 | 見(jiàn)參數(shù)kg |
| 最大工作壓強(qiáng) | 見(jiàn)參數(shù) | 訂貨號(hào) | 175.030.770.78 周璇 |
通過(guò)高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵
產(chǎn)品介紹
ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 真空泵
ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 真空泵
特點(diǎn)
高溫區(qū)域均熱化
實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。
氦氣密封
通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對(duì)策
采取了1000msec以?xún)?nèi)瞬停對(duì)策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專(zhuān)用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。
用途
CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等
規(guī)格
| 型號(hào) | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
| 使用泵 | 干式真空泵 | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
| 機(jī)械增壓泵 | - | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C-T | ||||
| 最大 排氣速度 | 50Hz | 410 m3/h (6833 L/min) | 653 m3/h (10883 L/min) | 1012 m3/h (16867 L/min) | 1701 m3/h (28350 L/min) | 2700 m3/h (45000 L/min) | |||
| 到達(dá)壓力 | 5.0 Pa | ||||||||
| 最大排氣壓力（吸入圧力） | 大氣壓 | ||||||||
| 最大排氣口壓力 （排出圧力） | 1.0~ 大氣壓 Pa | ||||||||
| 吸氣口 (CE規(guī)格) | VG100 | VG80(NW80) | VG100(NW100) | VG150(NW100) | VG150 | ||||
| 排氣口 | VG50 | NW40 | NW50 | ||||||
| 質(zhì)量 | 415 kg | 370 kg | 403 kg | 553 kg | 720 kg | ||||
| 電源 *2 | 三相 | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | 200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz) | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | |||||
| 電流值 | 穩(wěn)定時(shí) | 23 A(at 200V) | 16.4 A(at 200V) | 18.9 A(at 200V) | 29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | |||
| 最大值 | 52.5 A(at 200V) | 17.3 A(at 200V) | 22. 4 A(at 200V) | 34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | ||||
| 冷卻水一次壓力 | 0.2~0.5 Mpa | 0.1~0.3 Mpa | 0.2~0.5 Mpa | ||||||
| 冷卻水出入口壓差 | >0.2 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.2 Mpa | ||||
| 冷卻水流量 | >5.0 L/min | ||||||||
| 吹掃氣 | 一次壓力 | 0.1~0.5 Mpa | |||||||
| 二次壓力 | 0.05~0.1 Mpa | ||||||||
| N2吹掃 | 軸 | 5 SLM | |||||||
| 氣鎮(zhèn) | 0~195 SLM | 0~45 SLM | 0~195 SLM | 0~195 SLM | |||||
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