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真空計(jì)的類型
真空計(jì)根據(jù)用途、測(cè)量方法、測(cè)量范圍可分為多種類型。
1. 按用途
分壓真空
計(jì) 選擇分壓真空計(jì)僅測(cè)量個(gè)別氣體的真空度。當(dāng)兩種或多種氣體混合在一起時(shí)，每種氣體所表現(xiàn)出的壓力就是分壓。
它用于分析真空質(zhì)量，因?yàn)榧词乖谙嗤瑝毫ο拢阅芤矔?huì)根據(jù)氣體類型而有所不同。質(zhì)譜儀是一種常見的分壓真空計(jì)。
質(zhì)譜儀由三部分組成：離子源、分析部分和檢測(cè)部分。通過使用電場(chǎng)和磁場(chǎng)，可以通過僅觀察特定離子來確定每種氣體的壓力。
當(dāng)您想簡(jiǎn)單地測(cè)量空間的真空度時(shí)，請(qǐng)選擇全壓真空計(jì)。根據(jù)測(cè)量方法的不同，有多種類型，因此有必要選擇一種適合您的用途的類型。
2.測(cè)量方法
測(cè)量方法主要分為三種類型。這些是“檢測(cè)壓力本身的方法"、“利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法"和“利用氣體中的電離現(xiàn)象的方法"。
本身檢測(cè)壓力的方法
U型管真空計(jì)是利用壓力本身檢測(cè)的真空計(jì)。U型真空計(jì)是一種差壓表，由一端抽真空并密封的玻璃U型管制成。
氣體壓力差可以從壓力差引起的液柱高度讀取。U型真空計(jì)的dute之處在于它不屬于氣體類型。因此，它被用作其他真空計(jì)的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)，因?yàn)樗试S絕對(duì)測(cè)量壓力。
利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法
熱傳導(dǎo)真空計(jì)是利用氣體傳輸現(xiàn)象的真空計(jì)。這是利用氣體的熱導(dǎo)率根據(jù)壓力而變化的特性的真空計(jì)。
熱傳導(dǎo)真空計(jì)有多種類型，包括皮拉尼真空計(jì)、熱敏電阻真空計(jì)和熱電偶真空計(jì)。關(guān)于熱傳導(dǎo)真空計(jì)需要注意的重要一點(diǎn)是，在高真空下，熱輻射的影響變得大于熱傳導(dǎo)的影響。因此，熱導(dǎo)真空計(jì)的缺點(diǎn)是不能用于高真空測(cè)量。
利用氣體中的電離現(xiàn)象的方法利用
氣體中的 電離現(xiàn)象的真空管包括潘寧真空計(jì)(冷陰極電離真空計(jì))和離子計(jì)(熱陰極電離真空計(jì))。彭寧真空計(jì)可以利用真空中的放電現(xiàn)象來測(cè)量壓力。雖然具有優(yōu)異的耐久性，但其靈敏度根據(jù)氣體種類的不同而有很大差異。
潘寧真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是電路配置簡(jiǎn)單。另一方面，其缺點(diǎn)是潘寧放電不穩(wěn)定，難以高精度測(cè)量。此外，如果表面污染嚴(yán)重，則從陰極發(fā)射的電子量會(huì)減少，導(dǎo)致無法放電，并且如果陰極處于高真空中，則可能難以開始放電。
3、測(cè)量范圍
壓力分為低真空、中真空、高真空、超高真空等真空度，根據(jù)真空計(jì)的類型不同，測(cè)量真空度也不同。根據(jù)JIS（日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)），真空度根據(jù)壓力范圍分為如下所示的五類。皮拉尼真空計(jì)可以測(cè)量低真空到中真空，電離真空計(jì)可以測(cè)量中真空到超高真空。
低真空：10 5 Pa～10 2 Pa
中真空：10 2 Pa～10 -1 Pa
高真空：10 -1 Pa～10 -5 Pa
超高真空：-5 Pa至1 0-8 Pa
jigao真空：10 -8 Pa以下
