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精品KAKUHUNTER寫真化學(xué)紅外透射膜厚監(jiān)測儀
精品KAKUHUNTER寫真化學(xué)紅外透射膜厚監(jiān)測儀
特征
紅外透射膜厚監(jiān)測儀可測量電池隔膜等半透明片材、黑色抗蝕劑等低反射膜、硅片等的厚度。這是一款紅外吸收式薄膜測厚儀，可用于從實驗室水平到生產(chǎn)過程中100%在線檢測的所有情況。
這是一種紅外薄膜測厚儀，采用由緊湊型鏡面探頭組成的透射光學(xué)系統(tǒng)，可通過 100 多個波長的光譜同時精確測量薄膜厚度、密度和成分等多個參數(shù)。
1
測量半透明片、低反射膜、硅等
的厚度，這是使用光學(xué)干涉測量法難以做到的。2
小型光纖探頭
通過使用小型30mm反射探頭，
可以安裝在設(shè)備或生產(chǎn)線內(nèi)的狹小空間內(nèi)。另外，探頭
與主體僅通過光纖
連接，因此具有優(yōu)異的耐環(huán)境性。3
高速測量100多個點同時采樣
950至1650 nm的近紅外波長可以實現(xiàn)短至 1 毫秒的高速采樣。
可在生產(chǎn)線上進行實時檢測和測量。
由于不會旋轉(zhuǎn)干涉濾光片等，因此具有出色的耐用性和可靠性。4
厚度測量重復(fù)性0.1%以下（3σ）
5
兩種可選的測量算法
測量算法 校準(zhǔn)樣品 測量目標(biāo) 蘭伯特-比爾法 1 種 僅厚度 最小二乘回歸法 2種以上 多重（厚度、密度、特定成分的混合量等）
測量示例（鋰離子電池隔膜）
可以同時測量厚度和涂層重量。
測量示例（硅基板上的黑色抗蝕劑膜厚）
現(xiàn)在可以測量硅基板上黑色抗蝕劑的厚度，這對于使用反射光譜的光學(xué)干涉膜厚計來說是很難做到的。
作品
