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        1. 北崎國(guó)際貿(mào)易(北京)有限公司
          中級(jí)會(huì)員 | 第1年

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          寫(xiě)真化學(xué)厚度監(jiān)視器評(píng)估多晶硅的結(jié)晶度
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          貨物所在地:北京北京市

          地: 日本

          更新時(shí)間:2024-11-02 14:44:31

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          反射涂層厚度監(jiān)測(cè)儀是一種光學(xué)干涉反射光譜涂層測(cè)厚儀,它使用微型反射探頭,可應(yīng)用于從實(shí)驗(yàn)室級(jí)別到生產(chǎn)過(guò)程中的在線檢查的所有情況。 它具有出色的可維護(hù)性,可用于集成到工藝設(shè)備和生產(chǎn)線管理應(yīng)用中。

          反射涂層厚度監(jiān)測(cè)儀是一種光學(xué)干涉反射光譜涂層測(cè)厚儀,它使用微型反射探頭,可應(yīng)用于從實(shí)驗(yàn)室級(jí)別到生產(chǎn)過(guò)程中的在線檢查的所有情況。 它具有出色的可維護(hù)性,可用于集成到工藝設(shè)備和生產(chǎn)線管理應(yīng)用中。
          最多可同時(shí)測(cè)量 9 種類(lèi)型的透明膜。
          它具有出色的可維護(hù)性,可用作工藝設(shè)備或生產(chǎn)線管理應(yīng)用的集成。
          例如,在沉積、拋光和蝕刻過(guò)程中,它可以用作在線監(jiān)視器或終點(diǎn)監(jiān)視器(終點(diǎn)檢測(cè)傳感器),從而實(shí)現(xiàn)薄膜厚度的實(shí)時(shí)監(jiān)控(實(shí)時(shí)監(jiān)控)。
          它還可用于評(píng)估多晶硅的結(jié)晶度和多孔薄膜的密度。

          • 多晶硅結(jié)晶度的評(píng)價(jià)

          •  

          • 多孔膜的密度評(píng)估

          •  

          • 使用旋涂機(jī)進(jìn)行終點(diǎn)檢測(cè)的視頻



            • 微型光纖探頭

            • 通過(guò)采用高度為 30 mm 的小探頭,它可以安裝在設(shè)備的狹小空間內(nèi)。


            • 膜厚測(cè)量再現(xiàn)性:0.1 nm 或更小 (3σ)


            • 同時(shí)測(cè)量多層薄膜,9 層


            • 通過(guò)有效介質(zhì)近似 (EMA) 方法計(jì)算混合層的混合速率,并測(cè)定結(jié)晶度

            • 光學(xué)常數(shù)分析

            • 膜質(zhì)量分析功能



            • 可根據(jù)用途選擇的光源


            • 自動(dòng)映射測(cè)量(可選)

            • 操作示例1:Endpoint Monitor
              的Demo 1操作示例2:Endpoint Monitor的Demo 2


            • 自動(dòng)映射測(cè)量(可選)

          推薦環(huán)境條件

          溫度: 設(shè)定點(diǎn)在 18 ~ 45°C 范圍內(nèi)
          長(zhǎng)期變化: ±2.0°C/24 小時(shí)或更長(zhǎng)時(shí)間(參考設(shè)定點(diǎn))
          短期變化: ±1.0°C/1 小時(shí)×1 周期(參考設(shè)定點(diǎn))
          濕度:45% ± 20%(無(wú)冷凝)



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