目錄:北京鴻瑞正達科技有限公司>>高真空鍍膜機>> GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品簡介: GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀, 特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜 (如 Ti 、Al 、Au 等) 和小分子的有機物。 本機設(shè)有 4 個蒸鍍加熱舟, 每個加熱舟都可獨立進行蒸鍍, 加 熱舟上方有一個可旋轉(zhuǎn)擋板, 當(dāng)其中一個加熱舟進行蒸鍍時擋板將其它三個鎢舟遮住, 以防蒸鍍材料之間 相互污染。若更改部分配置也可實現(xiàn)對有機材料的蒸發(fā)鍍膜, 可滿足發(fā)光器件及有機太陽能電池方面的研 究要求,是一款鍍膜效果理想且性價比較高的實驗設(shè)備。GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀腔底部配有 5 個水冷 電極, 在工作過程中可有效保護電極溫度不會因溫度過高而熔化, 進而損壞電極。該機采用金屬腔室, 具 有的真空度,真空度可達到 5.0×10-7torr ,樣品臺可對樣品進行加熱,加熱溫度為室溫-500℃ ,是進行 高真空蒸發(fā)鍍膜的設(shè)備。
產(chǎn)品名稱 | GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀 |
產(chǎn)品型號 | GSL-1800X-ZF4 |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃, 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) 2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、工作臺:落地式, 占地面積 2m2 以上。 |
4、通風(fēng)裝置:需要 | |
主要特點 | 1、真空控制單元全部集合在一個控制盒內(nèi)。 2、采用獨立的蒸鍍電流控制器,操作方便快捷。 3、真空腔體設(shè)有 1 個 KF40 旁抽閥(直接與前級機械泵相連,提高效率)、 1 個 CF150 閘板閥 |
(直接與分子泵相連) 、1 個 KF16 法蘭(安裝電阻規(guī)) 、6 個 CF35 法蘭( 1 個安裝電離規(guī), 1 個安裝 2 芯電極, 1 個安裝膜厚儀) 3 個備用。 4、在腔體底部配有 5 個水冷電極, 可支持 4 個蒸鍍加熱舟。 | |
5、樣品臺安裝在腔體的頂部。 6、腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀, 膜厚測量分辨率(鋁) 為0.1?。 7、可使用循環(huán)水冷機。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入: 單相 AC220V,50Hz/60Hz,功率<2.16KW (不含真空泵) 2、蒸發(fā)輸出: 電壓 AC 0-8V 連續(xù)可調(diào),極限蒸發(fā)電流 200A,極限蒸發(fā)功率<1.6KW |
3、真空腔: ?300mm (內(nèi)徑)× 400mm,不銹鋼,內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理 4、觀察窗: ?100mm,采用專用密封圈密封 5、真空泵:高抽速渦輪分子泵, 抽速600L/s 6、真空度: 8.0x10-4Pa | |
7、極限真空 8.0x10-5Pa 8、漏率: 6.7×10-8Pa ·L/S 9、樣品臺:φ 120 10、蒸發(fā)舟與樣品臺間距: 150-210mm 11、冷卻水需量: 15L/min | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸: 900mm×1100mm×1800mm;重量: 230kg |