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          目錄:北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司>>薄膜材料生長成套設(shè)備>> 1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV

          1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV
          • 1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 品牌
          • 型號
          • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
          • 所在地 北京市
          屬性

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          更新時(shí)間:2024-03-12 17:14:30瀏覽次數(shù):155評價(jià)

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          產(chǎn)品簡介: 1700℃兩通道混氣高真空 CVD 系統(tǒng) GSL-1700X-4-C2HV 是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系 統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,工作溫度可達(dá) 1600 ,混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入管 式爐內(nèi)部, 本系統(tǒng)極限真空度可達(dá) 10-5 torr。


          產(chǎn)品型號

          1700℃兩通道混氣高真空 CVD 系統(tǒng) GSL-1700X-4-C2HV

          安裝條件

          本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。


          1、水:不需要


          2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地


          3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源


          4、工作臺: 尺寸 1600mmL*600mm(W)*700mm(H),承重 150kg 以上


          5、通風(fēng)裝置:需要

          主要特點(diǎn)

          1、雙層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<55℃。


          2、采用高純氧化鋁纖維,有效減少熱量損失。


          3 、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和使用壽命。


          4 、采用 PID 控制器 ,可以設(shè)置 30 段升降溫程序。


          5 、已通過 CE 認(rèn)證。




          技術(shù)參數(shù)

          管式爐


          1 、電源: 單相 AC 208V-240V    50Hz/60Hz    6KW


          2、爐管:高純氧化鋁陶瓷管, 外徑 ?100mm ,內(nèi)徑 ?92mm ,長 1000mm


          3、加熱元件: 1800℃硅鉬棒 8 


          4、加熱區(qū)域: 457mm


          5、恒溫區(qū)域: 150mm


          6 、工作溫度:  1650 ,連續(xù)工作 1600


          7、升溫速率:≤5/min


          8、控溫精度:± 1


          9、熱電偶: B 


          10、不銹鋼真空法蘭: 1 


          11、機(jī)械壓力表: 1 個(gè)


          12、針閥: 2 個(gè)


          13、連接器: KF-25 ,1 個(gè)


          14、抽氣接口: KF-25 轉(zhuǎn) KF-40


          15、卡套接頭: 1/4″

          高真空機(jī)組


          1、電源: 單相 AC208V-240V    50Hz/60Hz    100W-110W


          2、真空泵: 德國 Pfeiffer 真空泵


          3、顯示屏: LCD 數(shù)字顯示


          4、抽氣速率: N2-33L/s ,He-39L/s H2-32L/s


          5、工作范圍: 1000mtorr-10-7mtorr

          6、極限: 10-8mtorr  (無泄漏)





          質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)


          1、電源: 單相 AC208V-240V    50Hz/60Hz    18W


          2、功率: 18W


          3、混氣箱: ?80mm×120mm

          產(chǎn)品規(guī)格

          尺寸: 管式爐 550mm×380mm×520mm ,高真空機(jī)組 600mm×600mm×700mm,質(zhì)量流量混

          氣系統(tǒng) 600mm×600mm×700mm


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