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產(chǎn)品簡介： VTC-16-SM 小型高能直流磁控濺射儀是一款桌面式等離子磁控濺射鍍膜儀， 包含一個 2 英寸水 冷靶頭（另有 1 英寸靶頭可選） 和可旋轉(zhuǎn)樣品臺。水冷靶頭使鍍膜后的樣品表面不會因鍍膜溫度過高而變 形， 甚至損壞樣品； 樣品臺可旋轉(zhuǎn)，可以使樣品邊旋轉(zhuǎn)邊鍍膜使鍍膜后的樣品表面膜后均勻。設(shè)備外形小 巧，性價比高，是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設(shè)備，可選配各種金屬靶材和真空泵搭配設(shè)備使用。
VTC-16-SM 小型高能直流磁控濺射儀采用 PLC 控制面板對設(shè)備進行控制，操作方便直觀。
用直流磁控濺射儀可獲得單相 Al 膜
| 產(chǎn)品名稱 | VTC-16-SM 小型高能直流磁控濺射儀 |
| 產(chǎn)品型號 | VTC-16-SM |
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技術(shù)參數(shù) | 1、輸入電源： 220VAC 50/60Hz
2、濺射電流： 0-150 mA 可調(diào) |
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| 3、功率：＜2KW
4、輸出電壓： 1600VDC（ max）
5、濺射腔體
采用石英腔體，尺寸： 166mm OD x 150mm ID x 290mm H 密封： 采用 O 形密封圈密封 6 、濺射頭&樣品臺 2 英寸帶水冷的磁控濺射頭（注意：水冷機不是標配） 另有 1 英寸靶頭可選（圖一）
一個直徑 50mm 不銹鋼樣品臺，樣品臺可旋轉(zhuǎn)， 旋轉(zhuǎn)速率 0-5 RPM （圖五） 安裝有一可手動操作的濺射擋板（圖二、三） 樣品臺和靶頭之間的距離可以調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍： 30-80mm （圖二、三） 靶頭支架，可以在非濺射狀態(tài)放置濺射靶頭（圖四） 濺射面積： 4 英寸（ max ）（參考值，詳情請點擊）
圖一 圖二 圖三 圖四 圖五
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| 實驗效果 | ||||
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7 、控制面板 6" 8 、真空系統(tǒng)
安裝有 KF25 真空接口 |
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對于濺射各種金屬靶材，需要摸索理想的濺射參數(shù)，下表是本公司實驗所設(shè)置的參數(shù)
11 、產(chǎn)品外型尺寸 L460 mm × W 330 mm × H 520 mm 凈重： 20 kg （不包含泵及水冷機） | |||||||||||||||
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可選配件 | 可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上（見圖一） 可選加熱樣品臺，加熱溫度可達 500℃（見圖二、三） 可選浮子流量計來精 確控制進氣量（見圖四）
圖一 圖二 圖三 圖四 | |||||||||||||||
| 質(zhì)量認證 | CE 認證 | |||||||||||||||
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質(zhì)保期 | 一年保修，終身技術(shù)支持 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
| 注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動機體。 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥 （設(shè)備標配不包括） ，保證氣體的輸出壓力限制在 0.02 兆帕以下，以安全使用。 濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶 |
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