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日本okksg半導(dǎo)體電子元件全自動UV紫外黑光 FBUV-系列 特點介紹
黑光規(guī)格的全自動UV照射機是自動取出卡匣供給的晶圓框，照射
UV光并進行保管的裝置。切割后，紫外線照射會降低膠帶的粘合強度，使其更容易拾取。
兼容 8 英寸和 12 英寸晶圓框架，可自動更換設(shè)置。
盒式裝置可實現(xiàn)全自動照射。
旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤可實現(xiàn)均勻一致的紫外線照射。
多種UV照射條件（時間設(shè)定或累積光強度設(shè)定）
在觸摸屏上實時顯示紫外線照度。
由于黑光規(guī)格，功耗較低。
兼容8英寸/12英寸磁帶。（可以通過觸摸面板自動完成設(shè)置更改）
日本okksg半導(dǎo)體電子元件全自動UV紫外黑光 FBUV-系列 規(guī)格參數(shù)
盒式裝置可實現(xiàn)全自動照射。
旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤可實現(xiàn)均勻一致的紫外線照射。
多種UV照射條件（時間設(shè)定或累積光強度設(shè)定）
在觸摸屏上實時顯示紫外線照度。
由于黑光規(guī)格，功耗較低。
兼容8英寸/12英寸磁帶。（可以通過觸摸面板自動完成設(shè)置更改）
尺寸寬770×深1090×高1200（毫米）
重量約250公斤
駕駛空氣0.4～0.5Mpa 65L/min
紫外線照度9mW/cm2以上
氮氣0.4～0.5Mpa 100L/min
電源AC100V 50/60Hz 30A
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