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Canon FPA5000 ES4
1.Canon FPA5000 ES4掃描式光刻機
光源波長248nm
分辨率優(yōu)于0.13µm
用于6寸、8寸及12寸生產(chǎn)線
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域
2.產(chǎn)品詳情
主要技術指標
分辨率0.13µm
N.A.0.5-0.8
曝光光源248nm
倍率4:1
曝光現(xiàn)場26mm*33mm
對準精度25nm
3.更多服務
提供中英文軟件及6" 、8"、12"設備硅片改造
常年提供所有備件、耗材
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