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          Nikon EX14C步進式光刻機
          • Nikon EX14C步進式光刻機
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          貨物所在地:廣東深圳市

          更新時間:2024-10-22 16:31:06

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          NikonEX14C1

          Nikon EX14C

          1.Nikon EX14C步進式光刻機

          光源波長248nm

          分辨率優(yōu)于0.25µm

          主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線

          廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

          2.產(chǎn)品詳情

          主要技術指標

          分辨率0.25µm

          N.A.0.6

          曝光光源248nm

          倍率5:1

          曝光現(xiàn)場22mm*22mm

          對準精度

          LSA:55nm

          FIA:65nm

          3.更多服務

          提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設備硅片改造

          常年提供所有備件、耗材



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