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        1. 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
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          Nikon NSR 2205i11D步進(jìn)式光刻機(jī)
          • Nikon NSR 2205i11D步進(jìn)式光刻機(jī)
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          貨物所在地:廣東深圳市

          更新時(shí)間:2024-10-22 16:33:10

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          NikonNSR2205i11D1

          Nikon NSR 2205i11D

          1.Nikon NSR 2205i11D步進(jìn)式光刻機(jī)

          光源波長365nm

          分辨率優(yōu)于0.4µm

          主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線

          廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域

          2.產(chǎn)品詳情

          主要技術(shù)指標(biāo)

          分辨率0.4µm

          N.A.0.63

          曝光光源365nm

          倍率5:1

          曝光現(xiàn)場22mm*22mm

          對準(zhǔn)精度

          LSA:75nm

          FIA:80nm

          3.更多服務(wù)

          提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設(shè)備硅片改造。

          常年提供所有備件、耗材。




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