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當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> 激光退火設(shè)備
v 應(yīng)用范圍:對(duì)重?fù)诫s碳化硅(SiC)表面沉積的過渡金屬進(jìn)行退火,形成良好的歐姆接觸
v 加工尺寸:4inch、6inch
v 加工速度:1000mm/s
v 加工精度:±1μm
v 平臺(tái)參數(shù):行程300mm×300mm
v 重復(fù)定位精度:±0.001mm
v 激光器參數(shù):紫外
v 稼動(dòng)率:98%以上
v 重大故障間隙時(shí)間:>1000H
v 良率:≥99.5%
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