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一、產(chǎn)品介紹:
等離子清洗設備在材料學,光學,電子學,醫(yī)藥學,環(huán)境學、生物學等科研領域,主要用于材料表面進行清洗、活化、改性等目的。
CIF推出的新一代等離子體清洗設備,合理的結構設計,優(yōu)化的腔體尺寸,使得處理樣品更大,適用范圍更廣,性能更穩(wěn)定,操作更簡便,性價比更高,使用成本更低,實用性更強,更容易維護。
二、產(chǎn)品特點
u 7寸彩色觸摸屏互動操作界面,圖形化用戶操作界面顯示,自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20個配方程序,可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù),機器運行、停止提示。
u PLC工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。
u 采用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計,可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體,氣體分配均勻,經(jīng)濟實用。
u HEPA高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。
u 316不銹鋼、石英真空倉可選擇,全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。
u 采用60度傾角操作面板設計,符合人體功能學,操作方便,界面友好。
u 上控制下艙體結構設計,結構緊湊,占地空間小。
u 內凹式前面板設計,有效保護流量計和艙門運輸過程中不易損壞。
u 處理快速高效均勻,無污染,工藝重復性好。
u 樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。
u 安全保護,倉門打開,自動關閉電源。
三、技術參數(shù)
型號 | CPC-F | CPC-Fplus | ICP3 | ICP3 plus |
艙體尺寸 | D200xΦ155mm | D200xΦ155mm | H120xΦ270mm | H120xΦ270mm |
艙體容積 | 3.8L | 3.8L | 3.8L | 3.8L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 | 自動匹配 | 自動匹配 |
激發(fā)方式 | 電容式 | 電容式 | 電感耦合 | 電感耦合 |
射頻功率 | 10-300W可調 | 10-150W可調 | 10-300W可調 | 10-150W可調 |
氣體控制 | 雙浮子流量計 | |||
有效處理尺寸 | L200xW155mm | |||
產(chǎn)品尺寸 | L425xW420xH465mm | |||
包裝尺寸 | L560xW545xH730mm | |||
時間設定 | 1-99分59秒 | |||
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |||
氣體穩(wěn)定時間 | 1分鐘 | |||
真空度 | 100pa以內 | |||
電 源 | AC220V 50-60Hz |
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