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一、CIF手套箱專用等離子清洗機(jī)
CIF推出VGB-P系列手套箱專用等離子清洗設(shè)備,優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)更適合手套箱內(nèi)使用。安裝簡(jiǎn)單方便,性能穩(wěn)定,實(shí)用性強(qiáng),容易維護(hù)。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
u 7寸彩色觸摸屏互動(dòng)操作界面,圖形化用戶操作界面顯示,自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),20個(gè)配方程序,可存儲(chǔ)、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù),機(jī)器運(yùn)行、停止提示。
u PLC工控機(jī)控制整個(gè)清洗過(guò)程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。
u 真空倉(cāng)體,全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無(wú)污染。
u 自動(dòng)匹配器,功率無(wú)極可調(diào)。
u 采用美國(guó)德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計(jì),雙路氣體控制氣體流量,可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣或混合?/span>等氣體,氣體分配均勻,經(jīng)濟(jì)實(shí)用。
u HEPA高效過(guò)濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。
u 弧形等離子激發(fā)板,等離子激發(fā)能力更強(qiáng)。
u 分體式設(shè)計(jì),便于手套箱內(nèi)使用。
u 安全保護(hù),倉(cāng)門打開,自動(dòng)關(guān)閉電源。
三、技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | VGB3 | VGB3Plus |
艙體尺寸 | D178xΦ150mm | D178xΦ150mm |
艙體容積 | 3L | 3L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動(dòng)匹配 | 自動(dòng)匹配 |
激發(fā)方式 | 電容式 | 電容式 |
射頻功率 | 10-300W可調(diào) | 10-150W可調(diào) |
氣體控制 | 雙浮子流量計(jì)(標(biāo)配) | |
有效處理尺寸 | L200xW155mm | |
時(shí)間設(shè)定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |
氣體穩(wěn)定時(shí)間 | 1分鐘 | |
真空度 | 100pa以內(nèi) | |
電源 | AC220V 50-60Hz |
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