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一、基本結構

1. 流量傳感器

• MFC 內部通常采用熱式質量流量傳感器。這種傳感器基于熱傳導原理工作。它有兩個溫度傳感器（RTD，電阻溫度探測器）和一個加熱元件。

• 加熱元件位于兩個溫度傳感器中間。當氣體流過時，帶走熱量，根據(jù)熱量傳遞的原理，氣體流速不同，帶走熱量的速度也不同，進而導致兩個溫度傳感器之間產(chǎn)生溫度差。

• 通過測量這個溫度差，可以計算出氣體的質量流量。

2. 流量控制閥

• MFC 配有一個比例控制閥，通常是一個針閥或球閥。這個閥門可以精確地控制氣體的通過量。

• 閥門的開度由一個電磁驅動裝置控制，通過改變閥門的開度來調節(jié)氣體流量。

二、工作過程

1. 測量流量

• 當氣體進入 MFC 時，首先經(jīng)過流量傳感器。傳感器測量氣體的流量，并將流量信號轉換為電信號（如電壓或電流信號）。

• 這個電信號被發(fā)送到 MFC 的控制電路。

2. 流量控制

• MFC 的控制電路將接收到的流量信號與設定值進行比較。如果測量流量與設定流量不一致，控制電路會向流量控制閥發(fā)送信號。

• 流量控制閥根據(jù)控制信號調整閥門開度。如果測量流量小于設定流量，閥門會開大；如果測量流量大于設定流量，閥門會關小。

• 這種反饋控制機制不斷循環(huán)，確保實際氣體流量與設定流量保持一致，從而實現(xiàn)精確的流量控制。

三、應用場景