特征

• 
  可以將在高溫區(qū)域的均熱CVD、蝕刻等中產(chǎn)生的升華廢氣以氣態(tài)排出。
  UR系列可以達(dá)到比HR系列更高的溫度。

• 
  配備氦氣密閉電機(jī)，密封結(jié)構(gòu)，安全性高

• 瞬時(shí)停電對(duì)策：
  實(shí)施1000msec以?xún)?nèi)的瞬時(shí)停電對(duì)策。

• 優(yōu)異的耐腐蝕性
  主要部件采用特殊表面處理，表面硬度高，耐腐蝕性?xún)?yōu)異。當(dāng)腐蝕性氣體排出時(shí)，減少泵內(nèi)部的腐蝕。

• 通訊功能：
  可以讀取與泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/報(bào)警歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過(guò)使用專(zhuān)用軟件并與計(jì)算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。

目的