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超凈工作臺如何校準(zhǔn)？
閱讀：1238 發(fā)布時間：2020-4-22
1超凈工作臺檢漏 向高?？諝膺^濾器上游側(cè)發(fā)*，用采樣器在高效過濾器下游例約2.5cm處檢漏儀進行巡檢掃描，巡檢速度小于等于5cm每秒，當(dāng)下游側(cè)濃度與上游側(cè)濃度的比大于0.01%時，則認為超凈工作臺有明顯泄露，應(yīng)進行堵漏。
2超凈工作臺潔凈度
采樣時采用28.3/min的塵埃粒子計數(shù)器，也可采用小流量塵埃粒子計數(shù)器，但采樣量得小于1升，當(dāng)吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度達到穩(wěn)定條件下，在距主過濾器或整流格珊出口250mm的平行斷面的中心處連續(xù)測試5次求其平均值。
3超凈工作臺風(fēng)速
在主過濾器或擴散板下游10cm處的平面，把該平面面積分成不得少于12等分面積，各面積中心點為風(fēng)速測試點，各測試點之間距離不宜大于25cm，用熱球風(fēng)速儀或熱敏電阻風(fēng)速儀來測量各點風(fēng)速，取平均值為截面風(fēng)速。
4 超凈工作臺 噪聲
測試噪聲的環(huán)境在室內(nèi)比較開闊的、教硬實反射地面上進行測量。設(shè)備操作區(qū)開口處若設(shè)有擋板應(yīng)全部開啟，特別注意避免氣流產(chǎn)生的風(fēng)壓、振動等帶來的影響。噪聲測量點應(yīng)布置在工作臺中心，距臺面前沿20厘米處，高度為110厘米，共側(cè)四次，取平均值為測量結(jié)果。
5超凈工作臺振動
潔凈工作臺應(yīng)放置在振動比較小的地面上，避免周圍環(huán)境的影響，工作臺在正常運行環(huán)境下將振動分析計的拾振器放置于操作面的幾何中心，測出x,y,z三個軸向的總振福值。
6超凈工作臺照明
在正負1.5%以內(nèi)，100nv量程的頻響誤差相對較大，測量重復(fù)性也相對偏低。
2超凈工作臺潔凈度
采樣時采用28.3/min的塵埃粒子計數(shù)器，也可采用小流量塵埃粒子計數(shù)器，但采樣量得小于1升，當(dāng)吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度達到穩(wěn)定條件下，在距主過濾器或整流格珊出口250mm的平行斷面的中心處連續(xù)測試5次求其平均值。
3超凈工作臺風(fēng)速
在主過濾器或擴散板下游10cm處的平面，把該平面面積分成不得少于12等分面積，各面積中心點為風(fēng)速測試點，各測試點之間距離不宜大于25cm，用熱球風(fēng)速儀或熱敏電阻風(fēng)速儀來測量各點風(fēng)速，取平均值為截面風(fēng)速。
4 超凈工作臺 噪聲
測試噪聲的環(huán)境在室內(nèi)比較開闊的、教硬實反射地面上進行測量。設(shè)備操作區(qū)開口處若設(shè)有擋板應(yīng)全部開啟，特別注意避免氣流產(chǎn)生的風(fēng)壓、振動等帶來的影響。噪聲測量點應(yīng)布置在工作臺中心，距臺面前沿20厘米處，高度為110厘米，共側(cè)四次，取平均值為測量結(jié)果。
5超凈工作臺振動
潔凈工作臺應(yīng)放置在振動比較小的地面上，避免周圍環(huán)境的影響，工作臺在正常運行環(huán)境下將振動分析計的拾振器放置于操作面的幾何中心，測出x,y,z三個軸向的總振福值。
6超凈工作臺照明
在正負1.5%以內(nèi)，100nv量程的頻響誤差相對較大，測量重復(fù)性也相對偏低。