——關(guān)于中國電子氣體產(chǎn)業(yè)的調(diào)查
電子氣體的下游產(chǎn)業(yè)LED產(chǎn)業(yè)近幾年蓬勃發(fā)展。圖為2010年國慶期間，安裝在天安門廣場上的LED巨屏。（CFP 供圖）
中化新網(wǎng)訊 如果要問國內(nèi)哪條產(chǎn)業(yè)鏈上下游是冰火兩重天，那么CCIN記者可以舉出一條：國家要大力發(fā)展的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)搞得轟轟烈烈，而上游配套原材料國產(chǎn)電子氣體的生產(chǎn)卻冷冷清清。原來這條產(chǎn)業(yè)鏈的上半截基本在國外——靠跨國企業(yè)提供電子氣體。有人形容，如果上游電子氣體技術(shù)沒有突破的話，整條產(chǎn)業(yè)鏈就像是在海邊堆沙，海浪一來就沖沒了。
這并不是危言聳聽。
外企已安營扎寨
如果說石油是工業(yè)的血液，那么電子氣體就是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的血液。光明化工研究設(shè)計院總工程師孫福楠告訴CCIN記者，電子氣體是半導(dǎo)體元器件制造的基礎(chǔ)材料，在微電子、光電子器件生產(chǎn)過程中，從芯片的生產(chǎn)到zui后器件的封裝，幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體。“此外，在一些敏感領(lǐng)域，如航空航天、軍事工業(yè)等方面，也都需要大量用電子氣體制造的高質(zhì)量電子元器件。”
電子氣體種類繁多，主要包括高純氨、硅烷、砷烷、磷烷、三氟化硼、六氟化硫等。除了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)外，電子氣體還廣泛應(yīng)用于太陽能電池、光纖等高科技行業(yè)。
電子氣體大多屬于易燃易爆危險品，其中的砷烷和磷烷還屬于甲類危險化學(xué)品。同時部分電子氣體還有劇毒，合成凈化難度大，其生產(chǎn)技術(shù)在上嚴(yán)格保密。
半導(dǎo)體屬于當(dāng)下國家鼓勵發(fā)展的電子信息產(chǎn)業(yè)。半導(dǎo)體照明是繼白熾燈、熒光燈之后照明光源的又一次革命。為積極推進(jìn)半導(dǎo)體照明工作，早在1996年9月，由國家經(jīng)貿(mào)委牽頭，會同國家計委、國家科委等成立了“中國綠色照明工程”協(xié)調(diào)領(lǐng)導(dǎo)小組。2009年10月，國家*、*等6部委聯(lián)合發(fā)布的《半導(dǎo)體照明節(jié)能產(chǎn)業(yè)發(fā)展意見》又指出，到2015年半導(dǎo)體照明節(jié)能產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值年均增長率在30%左右。據(jù)相關(guān)機(jī)構(gòu)分析，2010年，中國半導(dǎo)體電子元器件照明產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值將超過1200億元。預(yù)計2015年，半導(dǎo)體電子元器件在中國照明市場的占有率將達(dá)到20%，帶動產(chǎn)業(yè)規(guī)模達(dá)5000億元，中國將進(jìn)入半導(dǎo)體電子元器件照明市場。
而與下游產(chǎn)業(yè)發(fā)展形成鮮明對比的是，這些產(chǎn)業(yè)所使用的電子氣體基本都依賴進(jìn)口。中國巨大的電子氣體市場，基本被跨國公司蠶食。起初跨國公司只是采取分銷模式，將氣體裝進(jìn)鋼瓶*迢迢運(yùn)來中國。近幾年，為了省去物流環(huán)節(jié)，跨國公司紛紛扎營中國，直接在中國投資建廠。德國林德、法國法液空、美國AP、美國普萊克斯等*紛紛加大了在華投資力度。
據(jù)了解，2010年3月15日，林德集團(tuán)及其旗下的聯(lián)華林德公司共同宣布：林德已與中國福建簽署了數(shù)百萬美元的長期氣體供應(yīng)合同。為了滿足中國薄膜晶體管液晶顯示器和LED制造業(yè)的需求，該公司已經(jīng)在福建廈門建設(shè)了高純氨氣廠。美國AP公司已在安徽蕪湖開建兩套2000噸/年高純氨生產(chǎn)裝置，預(yù)計2012年正式投產(chǎn)。日本昭和電工株式會社也已與浙江巨化股份有限公司設(shè)立了合資公司。經(jīng)過2009年的擴(kuò)能，該合資公司的高純氨裝置生產(chǎn)能力已經(jīng)擴(kuò)大到1000噸/年。法液空也決定在江蘇省投資建造一座年產(chǎn)能為4000噸的高純氨工廠，預(yù)計于2011年中期建成投產(chǎn)。
由于原材料高度的對外依賴性，國外電子氣體打個噴嚏，中國的半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)就要感冒。據(jù)了解，受金融危機(jī)影響，2008年半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)僅下跌了2.8%，國內(nèi)產(chǎn)業(yè)增速便隨之下滑0.4%，出現(xiàn)負(fù)增長。
佛山市華特氣體有限公司副總傅鑄紅說：“如果市場被人壟斷，價格當(dāng)然也是別人說了算。目前市場售價約1000元/千克的硅烷，在金融危機(jī)前市場緊缺時價格一度達(dá)到6000元/千克。而其生產(chǎn)成本甚至有可能低于200元/千克。問題還不止這些。我們還沒有忘記在金融危機(jī)前，由于市場缺貨，外國企業(yè)停止向中國出售硅烷，我國很多的太陽能電池廠就只能停產(chǎn)。等外資企業(yè)完成戰(zhàn)略布局，我國的電子氣體產(chǎn)業(yè)就被抓在他們手上了。這樣就等于下游的半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)被人扼住喉嚨。更嚴(yán)重的是，電子氣體產(chǎn)業(yè)被人控制還可能危及軍事安全。例如砷烷是做芯片摻雜要用的原料，而芯片應(yīng)用于很多武器裝備上。如果無法自主生產(chǎn)，國防工業(yè)也可能受到影響。”
目前國內(nèi)電子氣體下游用戶基本依賴國外進(jìn)口氣體作為原材料。圖為中國企業(yè)正在為客戶運(yùn)送從美國進(jìn)口的硅烷氣體。 （劉彭 攝）
國內(nèi)主要搞分銷
電子氣體屬于高技術(shù)含量的產(chǎn)品，其生產(chǎn)必須有自主技術(shù)來支撐。CCIN記者了解到，技不如人是橫亙在中國企業(yè)面前的一道難題。目前我國只能生產(chǎn)6N（純度99.9999%）以下檔次的電子氣體。而在許多重要領(lǐng)域，比如國家戰(zhàn)備武器研究和神州五號運(yùn)載火箭上的控制系統(tǒng)的電子元器件的制造，以及衛(wèi)星上使用的太陽能電池的制造等方面急需的6N級別的氣體基本依靠進(jìn)口。
據(jù)了解，光明化工研究設(shè)計院是我國電子氣體研究方面*的“國家隊(duì)”。光明化工研究設(shè)計院從“六五”期間開始進(jìn)行電子氣體的研究，在高純氨等方面取得了明顯成效，目前能規(guī)?；a(chǎn)太陽能、LED純度要求的氣體。佛山市華特氣體有限公司等也能生產(chǎn)高純四氟化碳等氣體。其他的公司大多以分銷國內(nèi)外的氣體為主。從總體上講，與強(qiáng)大的*相比，我國電子氣體的研發(fā)力量十分薄弱。
砷烷是典型的一個例子。它是用于生產(chǎn)薄膜太陽能電池和LED發(fā)光材料的關(guān)鍵原料。但它同時是一種劇毒的可燃?xì)怏w，一旦吸入即可致命。目前世界上能制造高純砷烷的國家。據(jù)CCIN記者了解，由于產(chǎn)業(yè)化技術(shù)的缺失，目前中國連一家規(guī)?；纳橥樯a(chǎn)企業(yè)都沒有，更不具備自主規(guī)?；a(chǎn)砷烷的成套技術(shù)。
據(jù)了解，電子氣體生產(chǎn)是一個系統(tǒng)工程, 涉及到氣體的深度提純技術(shù)、痕量雜質(zhì)分析檢測技術(shù)、氣瓶的內(nèi)表面處理技術(shù)、有毒尾氣的解毒處理技術(shù)等。電子氣體技術(shù)無法攻克的原因是多方面的。
一是深度提純技術(shù)難度較大。浙江大學(xué)半導(dǎo)體材料研究所研究員余京松介紹說：“以硅烷為例，將其純度由4N提純到6N中間有漫長的道路，除了要解決普通氣態(tài)雜質(zhì)的純化問題，還要將金屬元素雜質(zhì)凈化到10-9級和10-12級。為此要開發(fā)新的工藝或新的吸附劑、催化劑。”
二是包裝和儲運(yùn)跟不上。超高純氣體的生產(chǎn)和應(yīng)用都要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲運(yùn)容器、相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口，以避免二次污染的發(fā)生。的氣體公司均獨(dú)立開發(fā)了適于當(dāng)代電子氣體包裝儲運(yùn)的氣瓶和氣瓶處理技術(shù)。這些氣瓶具有高光潔度和高惰性的內(nèi)表面，無粒子逸出，無雜質(zhì)氣體析出。國內(nèi)在這方面尚未進(jìn)行過系統(tǒng)的研究開發(fā)工作，與國外差距甚大。
三是分析檢驗(yàn)觀念落后。國外已研發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測試方法和現(xiàn)場分析儀器，對電子氣體中危害較大的雜質(zhì)組分、顆粒以及金屬離子等推出了多種分析儀器。而我國在“產(chǎn)品是生產(chǎn)出來的，不是檢測出來的”這一思想指導(dǎo)下，對電子氣體生產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域分析檢測技術(shù)的研究開發(fā)工作重視不夠。目前國內(nèi)的分析測試技術(shù)水平尚不能系統(tǒng)地與接軌。
有企業(yè)家總結(jié)說：“如果說跨國企業(yè)的電子氣體生產(chǎn)水平已經(jīng)是一個成年人，那么我國的電子氣體生產(chǎn)技術(shù)水平只能算幼兒。”
民企在孤軍奮戰(zhàn)
CCIN記者在采訪中多次提問：既然中國自主生產(chǎn)電子氣體的意義如此重大，但為什么至今水平如此低下呢？
業(yè)內(nèi)人士給出答案 。
一是缺政府支持。一位不愿透露姓名的電子氣體營銷公司負(fù)責(zé)人告訴CCIN記者：“我們是想自己建廠生產(chǎn)電子氣體，但地方政府根本不接納。一聽說是危險化學(xué)品，無論我們的可行性報道做得多詳細(xì)，地方政府就是不批。我們申報一個存儲電子氣體砷烷的倉庫，連續(xù)4年了都批不下來，更不用提建設(shè)電子氣體生產(chǎn)廠了。”
二是缺資金。傅鑄紅說：“我們公司是國內(nèi)銷售額靠前的綜合性氣體公司，但如果靠我們企業(yè)自己的資金實(shí)力，想要上一套電子氣體生產(chǎn)裝置是很困難的。因?yàn)閯虞m數(shù)千萬元的投資，大部分企業(yè)的自有資金達(dá)不到這種實(shí)力。再加上又沒什么好的融資渠道，銀行貸款時往往會評估固定資產(chǎn)數(shù)額，這就使得企業(yè)融資空間非常小。所以企業(yè)上電子氣體生產(chǎn)線是心有余而力不足。”
為什么一個如此重要的行業(yè)，卻得不到政府的支持呢？
CCIN記者發(fā)現(xiàn)了一個原因：也許是因?yàn)殡娮託怏w屬于“高、精、尖”領(lǐng)域，既要直接與強(qiáng)大的國外企業(yè)競爭，又沒有資源便宜可占，因此大型國有企業(yè)基本上放棄了這一領(lǐng)域，倒是眾多民營企業(yè)愿意開拓這個可以充分競爭的市場。但這些民營企業(yè)勢單力薄，尚未得到政府的有效支持。
“在硅烷氣體領(lǐng)域，已經(jīng)有一些民間資本進(jìn)入了。安徽滁州、江蘇南京、河北保定、浙江衢州和杭州等地都是硅烷投資十分搶眼的地方，不少企業(yè)的生產(chǎn)線已經(jīng)產(chǎn)出硅烷產(chǎn)品，這些生產(chǎn)線大都采用的是我國傳統(tǒng)的硅化鎂工藝。”安徽滁州市硅谷特種氣體有限公司總蔡龍表示，但這些民營企業(yè)的力量還是太單薄、太弱了。
光明化工研究設(shè)計院是國內(nèi)研究電子氣體*的國有企業(yè)。圖為該院下屬的電子氣體生產(chǎn)廠的員工正在充裝高純氨氣體。
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