1.正確的選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好。

2.真空泵的工作壓強應該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。

3.真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

4.真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

5.真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

6.了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。在選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵，如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。