軟鍍膜
軟鍍膜是多層薄膜,由硫化鋅、冷凍劑、有時甚至是銀組成。對于傳統(tǒng)的干涉濾光片,鍍膜組件被層壓在一個垂直的堆棧中,以提供抵御周圍環(huán)境的保護,通常是從較大的晶圓上取下。考慮到所使用的材料和制造工藝,軟鍍膜易碎。鍍膜材料經常被從濾光片的邊緣移除,以避免鍍膜因潮濕而退化,并增加鍍膜的使用期限。
軟鍍膜的成本是由低成本的沉積設備、快速循環(huán)時間和廉價的基片來保持,但是由于密封和環(huán)形組件,操作成本很高。
軟鍍膜如果小批量生產,成本較高,如果產生一定批量的生產,會大大降低成本。
硬鍍膜
硬鍍膜薄膜是利用等離子沉積過程制作而成的,與軟鍍膜相比,它具有多個優(yōu)勢。等離子沉積過程是用計算機嚴格控制的,它甚至可以實現分層,擁有良好的環(huán)境適應性和更好的性能。例如,作為波長的一個函數,硬鍍膜的透光率不僅更加一致,而且通常高于軟鍍膜的透光率
硬鍍膜在可見光譜和紫外線中具有超過 90% 的透射率。另一方面,軟鍍膜無法達到 90% 的透射率,并且性能在紫外線附近顯著下降。此外,起始和截止轉換還有一些改進。軟鍍膜有個漸進的過渡,從沒有透射率過渡到*透射率,而硬鍍膜的過渡更陡.
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