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          工具顯微鏡的干涉照明和應用

          來源:上海富萊光學科技有限公司   2020年05月27日 14:52  
            在工具顯微鏡上采用干涉照明,可以提高測量圓柱體和螺紋的瞄準精度。干涉條紋是如何產(chǎn)生的?都能完成哪些測量?
           
            干涉照明
           
            工具顯微鏡在一般照明條件下,由于圓柱面和螺旋面的輪廓影像不夠清晰,測量時,瞄準精度低。
           
            “干涉法”是對照明系統(tǒng)作適當調(diào)節(jié),使輪廓影像邊緣產(chǎn)生干涉條紋,以測角目鏡分劃板刻線瞄準輪廓影像邊緣的干涉條紋,代替直接瞄準影像輪廓的測量方法。由于干涉條紋很細,又很清晰,所以比直接瞄準影像輪廓要準確得多。
           
            干涉條紋是由于底光照明直接進入物鏡的光束和經(jīng)被測表面反射的光束在空間迭加,產(chǎn)生干涉現(xiàn)象而形成。條紋可有多條,通常以離被測件輪廓近的第1條作為瞄準目標。
           
            使工具顯微鏡的照明產(chǎn)生干涉條紋的方法是:采用5×物鏡,把照明光欄口徑關(guān)到小,照明電壓開到大,就能在輪廓影像邊緣看到干涉條紋;把黑紙當中剪一個小孔放在底光照明聚光鏡表面,把光欄口徑和照明電壓都開到大,效果也不錯。
           
            干涉照明的調(diào)焦方式也在輪廓影像的邊與普通照明不同,調(diào)焦過程中,可以看到干涉條紋離輪廓自遠而近,找到距離近的拐點,作為焦面。
           
            應用
           
            在工具顯微鏡上,干涉照明可用于螺紋螺距和牙側(cè)角的測量。測量時,用測角目鏡米字線與第1條干涉條紋重合,或?qū)⒚鬃志€夾在螺紋輪廓和第1條干涉條紋之間。
           
            干涉照明不適合測量螺紋中徑,請使用三針在端度儀器上測量。
           
            某些文獻給出了用干涉照明測量圓柱體直徑和螺紋中徑的方法,由于難于準確獲得輪廓到干涉條紋的距離,應慎用。建議使用端度儀器測量,會更加準確。

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