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          高阻型霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)

          來源:北京錦正茂科技有限公司   2020年10月14日 09:42  

          高阻霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)JH60E產(chǎn)品概述:

          本儀器系統(tǒng)由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源高精度電壓表、霍爾效應(yīng)樣品支架、標(biāo)準(zhǔn)樣品、高低溫杜瓦,控溫儀,系統(tǒng)軟件。為本儀器系統(tǒng)專門研制的 JH10 效應(yīng)儀將恒流源,六位半微伏表及霍爾測量復(fù)雜的切換繼電器——開關(guān)組裝成一體,大大減化了實驗的連線與操作。JH10 可單獨做恒流源、微伏表使用。用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù),而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的,因此霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性*的工具。 實驗結(jié)果由軟件自動計算得到,可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻)(Magnetoresistance)等

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          高溫霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)JH60E技術(shù)指標(biāo):

          * 磁 場:10mm 間距為 2T 30mm 間距為 1T

          * 樣品電流:0.05uA~50mA(調(diào)節(jié) 0.1nA)

          * 測量電壓:0.1uV~30V

          * 提供各類測試標(biāo)準(zhǔn)材料,各級別硅與砷化鎵(靈敏度與精度不同)

          * 小分辨率:0.1GS

          * 磁場范圍:0-1T

          * 配合高斯計或數(shù)采板可計算機通訊

          * I-V 曲線及 I-R 曲線測量等

          * 霍爾系數(shù)、載流子濃度等參數(shù)隨溫度的變化曲線

          * 電阻率范圍:10-7~1012 Ohm*cm

          * 電阻范圍:10 m Ohms~ 6MOhms

          * 載流子濃度:103~1023cm-3

          * 遷移率:0.1~108cm2/volt*sec

          * 溫度調(diào)節(jié) 0.1K

          * 溫區(qū):293K-470K

          * 測試全自動化,一鍵處理

          * 可實現(xiàn)相同溫差間的連續(xù)測量

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          各系統(tǒng)參數(shù):

          高精度電磁鐵

          極頭直徑 100mm;

          N,S 間距 10mm 時大磁場 20000Gs;

          N,S 間距 20mm 時大 13000 高斯;

          N, S 間距 30mm 時大磁場 10000 高斯;

          均勻區(qū):間距 60mm 時直徑 10mm均勻度范圍; 1%

          自重 110 公斤 含支架及輪子

          高精度雙極性恒流電源

          輸出: ±10A±80V 功率;800W

          ① 電源輸出電流可在正負額定大電流之間連續(xù)變化

          ② 電流可以平滑過零點,非開關(guān)換向

          ③ 輸出電流、電壓四象限工作(適合感性負載)

          ④ 電流變化速率可設(shè)置范圍為 0.0007~0.3 F.S./s(F.S.為額定大輸出電流)

          ※ 電流穩(wěn)定度高,紋波低

          ①電流穩(wěn)定度:優(yōu)于±25ppm/h(標(biāo)準(zhǔn)型);優(yōu) 于±5ppm/h(高穩(wěn)型) ② 電流準(zhǔn)確度:±(0.01%設(shè)定值+1mA) ③ 電流分辨率:20 bit,例 15A 電源,電流分辨率為 0.03mA

          ④ 源效應(yīng):≤ 2.0×10-5 F.S.(在供電電壓變化 10%時,輸出電流變化量)

          ⑤ 負載效應(yīng):≤ 2.0×10-5 F.S.(在負載變化 10%時,輸出電流變化量)

          ⑥ 電流紋波(RMS):小于 1mA

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          高精度高斯計:

          精度:讀數(shù)的±0.30% ;

          分辨力:0.01mT 量程:0-3T ;

          探頭厚度:1.0mm ;

          長度 100mm 數(shù)字;

          Rs-232 接口數(shù)據(jù)讀取軟件配 GP3 型探頭

          高斯計探頭支架及樣品架 全鋁非導(dǎo)磁支架 5-70mm 可調(diào)

          樣品架夾具(按要求定制)

          霍爾效應(yīng)系統(tǒng)軟件 可數(shù)字化調(diào)節(jié)磁場及電流,測試各類材料參數(shù)

          高溫恒溫器: (293K-470K)高低溫真空容器

          TESK301恒溫儀: 控溫(65k-600k)

          真空泵 K25 真空泵

          恒流源及測試表

          恒流源量程:±50nA-±50mA;

          分辨力 0.1nA 在量程范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào);

          高精度電壓數(shù)采儀范圍 0. 1uV-30V

          精度:0.01%

          內(nèi)置測試矩陣轉(zhuǎn)換卡;

          歐姆接觸套件 根據(jù)不同材料的歐姆接觸制作套件

          系統(tǒng)組成:

          高溫霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)由電磁鐵、真空泵、高溫真空腔、高斯計、恒流源、電磁鐵電流源、控溫儀和計算機及軟件組成。其中,電磁鐵電流源給電磁鐵提供電流產(chǎn)生磁場;高斯計測量電磁鐵產(chǎn)生的均勻磁場值;恒流源一方面給樣品提供樣品測試電流,用于霍爾效應(yīng)測試,一方面用來測量樣品反饋的霍爾電壓;被測樣品置于高溫真空腔中,由高溫膠固定,并作為四個測試點;高溫真空腔引出 4 根導(dǎo)線,兩個連接控溫儀進行溫度的測量及控制,另 1 根是高溫探頭引線連接到高斯計上,還有 1 根是霍爾樣片連接線連接到恒流源上;計算機連接高斯計、控溫儀、恒流源和電磁鐵電流源,通過軟件實現(xiàn)控制通過被測樣品的電流和磁場值,并獲取測得的電壓值。

          可測試材料: ?

          半導(dǎo)體材料:SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP, AlGaAs, HgCdTe 和鐵氧體材料等

          低阻抗材料:石墨烯、金屬、透明氧化物、弱磁性半導(dǎo)體材料、TMR 材料等

          高阻抗材料:半絕緣的 GaAs, GaN, CdTe 等




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