高阻霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)JH60E產(chǎn)品概述:
本儀器系統(tǒng)由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源高精度電壓表、霍爾效應(yīng)樣品支架、標(biāo)準(zhǔn)樣品、高低溫杜瓦,控溫儀,系統(tǒng)軟件。為本儀器系統(tǒng)專門研制的 JH10 效應(yīng)儀將恒流源,六位半微伏表及霍爾測量復(fù)雜的切換繼電器——開關(guān)組裝成一體,大大減化了實驗的連線與操作。JH10 可單獨做恒流源、微伏表使用。用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù),而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的,因此霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性*的工具。 實驗結(jié)果由軟件自動計算得到,可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻)(Magnetoresistance)等
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高溫霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)JH60E技術(shù)指標(biāo):
* 磁 場:10mm 間距為 2T 30mm 間距為 1T
* 樣品電流:0.05uA~50mA(調(diào)節(jié) 0.1nA)
* 測量電壓:0.1uV~30V
* 提供各類測試標(biāo)準(zhǔn)材料,各級別硅與砷化鎵(靈敏度與精度不同)
* 小分辨率:0.1GS
* 磁場范圍:0-1T
* 配合高斯計或數(shù)采板可計算機通訊
* I-V 曲線及 I-R 曲線測量等
* 霍爾系數(shù)、載流子濃度等參數(shù)隨溫度的變化曲線
* 電阻率范圍:10-7~1012 Ohm*cm
* 電阻范圍:10 m Ohms~ 6MOhms
* 載流子濃度:103~1023cm-3
* 遷移率:0.1~108cm2/volt*sec
* 溫度調(diào)節(jié) 0.1K
* 溫區(qū):293K-470K
* 測試全自動化,一鍵處理
* 可實現(xiàn)相同溫差間的連續(xù)測量
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各系統(tǒng)參數(shù):
高精度電磁鐵
極頭直徑 100mm;
N,S 間距 10mm 時大磁場 20000Gs;
N,S 間距 20mm 時大 13000 高斯;
N, S 間距 30mm 時大磁場 10000 高斯;
均勻區(qū):間距 60mm 時直徑 10mm均勻度范圍; 1%
自重 110 公斤 含支架及輪子
高精度雙極性恒流電源
輸出: ±10A±80V 功率;800W
① 電源輸出電流可在正負額定大電流之間連續(xù)變化
② 電流可以平滑過零點,非開關(guān)換向
③ 輸出電流、電壓四象限工作(適合感性負載)
④ 電流變化速率可設(shè)置范圍為 0.0007~0.3 F.S./s(F.S.為額定大輸出電流)
※ 電流穩(wěn)定度高,紋波低
①電流穩(wěn)定度:優(yōu)于±25ppm/h(標(biāo)準(zhǔn)型);優(yōu) 于±5ppm/h(高穩(wěn)型) ② 電流準(zhǔn)確度:±(0.01%設(shè)定值+1mA) ③ 電流分辨率:20 bit,例 15A 電源,電流分辨率為 0.03mA
④ 源效應(yīng):≤ 2.0×10-5 F.S.(在供電電壓變化 10%時,輸出電流變化量)
⑤ 負載效應(yīng):≤ 2.0×10-5 F.S.(在負載變化 10%時,輸出電流變化量)
⑥ 電流紋波(RMS):小于 1mA
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高精度高斯計:
精度:讀數(shù)的±0.30% ;
分辨力:0.01mT 量程:0-3T ;
探頭厚度:1.0mm ;
長度 100mm 數(shù)字;
Rs-232 接口數(shù)據(jù)讀取軟件配 GP3 型探頭
高斯計探頭支架及樣品架 全鋁非導(dǎo)磁支架 5-70mm 可調(diào)
樣品架夾具(按要求定制)
霍爾效應(yīng)系統(tǒng)軟件 可數(shù)字化調(diào)節(jié)磁場及電流,測試各類材料參數(shù)
高溫恒溫器: (293K-470K)高低溫真空容器
TESK301恒溫儀: 控溫(65k-600k)
真空泵 K25 真空泵
恒流源及測試表
恒流源量程:±50nA-±50mA;
分辨力 0.1nA 在量程范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào);
高精度電壓數(shù)采儀范圍 0. 1uV-30V
精度:0.01%
內(nèi)置測試矩陣轉(zhuǎn)換卡;
歐姆接觸套件 根據(jù)不同材料的歐姆接觸制作套件
系統(tǒng)組成:
高溫霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)由電磁鐵、真空泵、高溫真空腔、高斯計、恒流源、電磁鐵電流源、控溫儀和計算機及軟件組成。其中,電磁鐵電流源給電磁鐵提供電流產(chǎn)生磁場;高斯計測量電磁鐵產(chǎn)生的均勻磁場值;恒流源一方面給樣品提供樣品測試電流,用于霍爾效應(yīng)測試,一方面用來測量樣品反饋的霍爾電壓;被測樣品置于高溫真空腔中,由高溫膠固定,并作為四個測試點;高溫真空腔引出 4 根導(dǎo)線,兩個連接控溫儀進行溫度的測量及控制,另 1 根是高溫探頭引線連接到高斯計上,還有 1 根是霍爾樣片連接線連接到恒流源上;計算機連接高斯計、控溫儀、恒流源和電磁鐵電流源,通過軟件實現(xiàn)控制通過被測樣品的電流和磁場值,并獲取測得的電壓值。
可測試材料: ?
半導(dǎo)體材料:SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP, AlGaAs, HgCdTe 和鐵氧體材料等
低阻抗材料:石墨烯、金屬、透明氧化物、弱磁性半導(dǎo)體材料、TMR 材料等
高阻抗材料:半絕緣的 GaAs, GaN, CdTe 等
相關(guān)產(chǎn)品
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