大氣等離子清洗機包括等離子發(fā)生器,變壓器和等離子噴槍。等離子發(fā)生器是系統(tǒng)的核心控制部件,而噴槍可以根據(jù)工作環(huán)境的不同選擇固定噴槍、旋轉(zhuǎn)噴槍或雙頭旋轉(zhuǎn)噴槍。固定噴槍適合處理窄而深的處理面,而旋轉(zhuǎn)噴槍或多頭旋轉(zhuǎn)噴槍則適合寬幅的表面。
大氣等離子清洗機真空腔體保養(yǎng)
等離子腔體清潔時產(chǎn)生的污物大部分都接近電子級別,會隨著真空泵排除。但也會有一些大顆粒污染物產(chǎn)生。這些大顆粒污物會附著在腔壁、電極和托板架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”,腔底掉落更嚴重。對于腔壁用不可掉落的毛刷清潔使顆粒粉塵異物在腔壁脫落,用吸塵機將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭,其次腔體導入N2和O2,用等離子體清除腔體內(nèi)殘余物,工作10min。
電極與托板架的保養(yǎng)
托板架和電極長時間使用后會附著氧化層,同時采用等離子體處理烴基材料時,一段時間后在托板架、電極,RF導電桿上會積累一層薄的烴基殘留物,這些殘留物和氧化層是無法用酒精擦拭掉的。應(yīng)依據(jù)附著物的量對電極、托板架進行翻新維護能保證清洗的穩(wěn)定。清洗材料要求:氫氧化鈉、硫酸、城市用水和蒸餾水。注意:不要使用手磨機、砂紙或磨蝕性噴砂處理等機械方法清潔;氫氧化鈉溶液會與鋁發(fā)生劇烈的化學反應(yīng),應(yīng)小心謹慎以確保僅在所需的時間內(nèi)清除沉積物;反應(yīng)中會生成具有潛在爆炸性的氫氣,因此工作區(qū)域應(yīng)保持良好的通風。
真空泵的保養(yǎng)
查看真空泵油位和油的純度,觀察油位視窗,發(fā)現(xiàn)油位接近很低紅線刻度,加油到紅標線上下之間位置。
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