光柵尺又稱光柵尺位移傳感器(光柵尺傳感器),是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺常用于數(shù)控機床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,可用于檢測直線位移或角位移。被測輸出信號為數(shù)字脈沖,具有檢測范圍大、檢測精度高、響應速度快的特點。
比如在數(shù)控機床中,經(jīng)常用來檢測刀具和工件的坐標,觀察和跟蹤進給誤差,起到補償?shù)毒哌\動誤差的作用。
光柵尺根據(jù)制造方法和光學原理的不同分為透射光柵和反射光柵。
光柵尺由標尺光柵和光柵讀數(shù)頭組成。一般情況下,標尺固定在機床的活動部件上,光柵讀數(shù)頭安裝在機床的固定部件上,指示光柵安裝在光柵讀數(shù)頭內(nèi)。
光柵檢測裝置的關鍵部分是光柵讀數(shù)頭,它由光源、會聚透鏡、指示光柵、光電元件和調(diào)節(jié)機構組成。光柵讀數(shù)頭的種類很多,根據(jù)結構特點和應用場合可分為直接接收讀數(shù)頭(或硅光電池讀數(shù)頭、鏡面讀數(shù)頭、分光鏡讀數(shù)頭、金屬光柵反射讀數(shù)頭)。
直線光柵尺作為提高機床效率的一種方法,應用越來越廣泛。線性光柵尺系統(tǒng)廣泛應用于車床、銑床等通用機床,以及包括專有設備、專業(yè)機械、半導體制造器件、精密測量儀器在內(nèi)的所有機床。與傳統(tǒng)的撥盤定位操作相比,大大提高了機器的工作效率。
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