薄膜的厚度檢測在薄膜制造及加工業(yè)是常見的指標(biāo)之一
厚度檢測設(shè)備可以分為在線測厚設(shè)備和非在線測厚設(shè)備兩大類。這兩類測厚設(shè)備如果能夠配合使用是非常理想的,這一方面是由于在線測厚設(shè)備往往采用的非接觸式測量方式,用于軟包材的厚度檢測時無法避免由于材料具有壓縮性或是表面平整性不好而引起的數(shù)據(jù)波動較大的情況,而非在線測厚設(shè)備可以提供接觸式測量方法,有效彌補了在線測厚的這一不足。另一方面在線測厚雖然能有效控制一批薄膜的厚度均勻性,但卻不適用于對成品薄膜的抽樣檢測,因此必須配備非在線測厚設(shè)備。
在線測厚設(shè)備能夠迅速獲取厚度測試數(shù)據(jù),并及時調(diào)整生產(chǎn)線的參數(shù)降低材料的厚度波動,縮短生產(chǎn)線的開車時間,但需要配備與生產(chǎn)線相匹配的掃描架,這對其重復(fù)利用有一定限制,而且設(shè)備的價格、運行及維護費用都要比非在線測厚設(shè)備貴很多。非在線測厚設(shè)備價格便宜、體積小,使用方便,但對生產(chǎn)線厚度參數(shù)調(diào)整的反饋要慢很多。非在線測厚設(shè)備種類很多,其中機械測厚技術(shù)的適用性較強,它對試樣沒有選擇性,測試不受產(chǎn)品顏色、組份變化或表面反光的影響,可用于檢測任何物質(zhì),而且它在測厚的同時會向試樣的測量表面施加一定的壓力,可有效避免由于試樣具有壓縮性或是表面平整性不好而引起的數(shù)據(jù)波動較大的情況,非常適用于軟包材的厚度檢測。此外,由于薄膜具有可壓縮的特性,若各類測厚儀對同種薄膜的檢測厚度存在差距也是經(jīng)常出現(xiàn)的情況,因此,嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的條件選擇儀器十分重要。
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