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輪廓儀是測(cè)量各種機(jī)械零件素線形狀和截面輪廓形狀的精密設(shè)備。在軸承行業(yè)中可測(cè)量各種滾動(dòng)體及滾道的素線形狀，如：凸出量、接觸角、曲面曲率半徑和基準(zhǔn)件角度等，在機(jī)械行業(yè)中可測(cè)量各種零件的直線度、線輪廓度、平行度、傾斜度、角度。特別適用于汽車、拖拉機(jī)、摩托車活塞的外型的測(cè)量。
輪廓儀分接觸式輪廓儀和光學(xué)輪廓儀二種，其中接觸式輪廓儀采用直角坐標(biāo)測(cè)量法，觸針接觸式。光學(xué)輪廓儀利用白光干涉測(cè)量技術(shù)可以便捷地，非接觸式地測(cè)量3D臺(tái)階高度，粗糙度和表面形貌。
NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
輪廓儀分接觸式輪廓儀和光學(xué)輪廓儀二種，其中接觸式輪廓儀采用直角坐標(biāo)測(cè)量法，觸針接觸式。光學(xué)輪廓儀利用白光干涉測(cè)量技術(shù)可以便捷地，非接觸式地測(cè)量3D臺(tái)階高度，粗糙度和表面形貌。
NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
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