FT160配置部件,可以提供精細(xì)結(jié)構(gòu)上的超薄鍍層的元素分析。毛細(xì)管聚焦光學(xué)鏡能聚焦直徑小于30μm的X射線束,從而在樣品上集中更大強度且其可測量的部件尺寸小于傳統(tǒng)準(zhǔn)直器可測量的部件尺寸。高靈敏度、高分辨率日立分析儀器硅漂移探測器(SDD)充分利用光學(xué)系統(tǒng)測量微電子和半導(dǎo)體上的納米級鍍層。高精度樣品臺和具備數(shù)字變焦功能的高清攝像頭可快速定位樣件,以提高樣品處理量。
FT160 XRF專門為微焦斑和超薄鍍層分析設(shè)計,可準(zhǔn)確可靠地測量*小部件上的鍍層,具有以下優(yōu)點:
(1)應(yīng)對超薄鍍層(納米級鍍層)測試挑戰(zhàn),例如日益縮小的電子元件(尺寸小于50µm)中的鍍層。
(2)高通量測試,這得益于內(nèi)部的多毛細(xì)管光學(xué)和高精度前沿XRF檢測器(SDD檢測器)。
采用多毛細(xì)管光學(xué)技術(shù)測量小于50 µm的特征,對較小的特征可獲得更高的精度
(3)高精度測量,F(xiàn)T160可提供小于30µm的束流直徑,從而實現(xiàn)高精度的電鍍厚度測量和成分分析,這對于在整個半導(dǎo)體制造過程中分析焊料凸起、金屬沉積和電鍍**重要。
(4)符合IPC規(guī)范,滿足質(zhì)控分析需求
可用于印制板(PCB)制造以驗證鎳基鍍層。它使用檢測器技術(shù)和多毛細(xì)管光學(xué)技術(shù),使質(zhì)量控制部門能夠可靠、準(zhǔn)確地測量尺寸小于50µm的部件上的納米級特征鍍層厚度。它還具有模式識別軟件和自動特征搜索器,可加快XRF分析速度。
(5)FT160具有大樣品臺,寬敞開的門和堅固的觀察窗,可輕松裝載各種尺寸的零件并專注于測量點。新設(shè)計的控制器軟件可實現(xiàn)增強和精確的測試,并將結(jié)果方便地捕獲到數(shù)據(jù)庫中以供導(dǎo)出。FT160可產(chǎn)生快速、準(zhǔn)確和可重復(fù)的結(jié)果,提高了生產(chǎn)效率并降低了PCB、半導(dǎo)體和微型連接器上的超標(biāo)鍍層的成本。
(6)16倍數(shù)字變焦高清相機,更容易觀察半導(dǎo)體和PCB表面并易于導(dǎo)航。
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