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電容式位移傳感器基于平板電容原理。電容的兩極分別是傳感器和與之相對(duì)的被測(cè)物體。如果有穩(wěn)定交流電通過傳感器，輸出交流電的電壓會(huì)與傳感器到被測(cè)物體之間的距離成正比關(guān)系，從而可以通過測(cè)量電壓的變化得到距離信息。
電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測(cè)量儀器，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。
實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中電容式傳感器可以實(shí)現(xiàn)近乎的線性測(cè)量。但是，電容傳感器要求探頭到被測(cè)物體之間的電介質(zhì)必須均勻恒定。測(cè)量系統(tǒng)對(duì)于測(cè)量范圍內(nèi)的電介質(zhì)變化非常敏感。源于電磁轉(zhuǎn)化過程，電容傳感器可以測(cè)量所有金屬。電容測(cè)量系統(tǒng)主要測(cè)量平板電阻的阻抗值，阻抗值與探頭到被測(cè)物體之間的距離成正比。
傳統(tǒng)電容式傳感器，會(huì)從電極側(cè)面散發(fā)磁力線。這中磁場(chǎng)會(huì)導(dǎo)致錯(cuò)誤的測(cè)量結(jié)果。德國米銥公司的電容式傳感器帶有一個(gè)接地屏蔽環(huán)，可以有效減少側(cè)面磁場(chǎng)和邊界效應(yīng)，從而得到更加準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。從接地屏蔽環(huán)發(fā)出的磁力線不會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。
高精度測(cè)量電容式測(cè)量原理是幾種精度最高的測(cè)量原理之一。但是問題是，如此微小的測(cè)量距離會(huì)導(dǎo)致測(cè)量信號(hào)變化同樣微小。也就是說，在探頭和被測(cè)物體之間僅有很少量的電子可以用來顯示距離的變化。這意味著，如果有很小的漏電流或寄生電流流過探頭到控制器的電路，也會(huì)影響測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。因此，探頭到控制器之間的電纜需要特殊的雙屏蔽電纜。這種特殊的，全封閉的RF電纜保證了高信號(hào)質(zhì)量。雙屏蔽電纜與接地磁屏蔽技術(shù)的使用，使高精度測(cè)量成為可能。
由于環(huán)境溫度的改變，導(dǎo)致的被測(cè)物體導(dǎo)電性變化，對(duì)測(cè)量結(jié)果沒有影響。電容式測(cè)量原理使傳感器甚至可以在波動(dòng)的溫度環(huán)境下使用。
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