雙氧水也叫過氧化氫,過氧化氫是一種重要的化工原料,化學(xué)式為H2O2。純過氧化氫是淡藍(lán)色的黏稠液體,可任意比例與水混溶,是一種強(qiáng)氧化劑,水溶液俗稱雙氧水,為無色透明液體。雙氧水的生產(chǎn)方法主要有電解法、蒽醌法、異丙醇法、氧陰極還原法和氫氧直接化合法等,蒽醌法是生產(chǎn)雙氧水的主要方法,國內(nèi)99%以上的雙氧水裝置采用該工藝。
雙氧水的作用
雙氧水根據(jù)濃度及應(yīng)用領(lǐng)域不同可分為電子級(jí)、食品級(jí)、工業(yè)級(jí)等。電子級(jí)雙氧水是生產(chǎn)電子集成電路的化學(xué)試劑,在半導(dǎo)體制程前端硅片清洗和剝離蝕刻完成后的光刻膠。主要用于半導(dǎo)體硅晶片清洗劑,蝕刻劑和光刻膠去除劑,還可用于高級(jí)絕緣層制取,電鍍液無機(jī)雜質(zhì)去除,電子行業(yè)中銅、銅合金和鎵、鍺的處理,以及太陽能硅晶片的蝕刻和清洗。從行業(yè)產(chǎn)量來看,2021年我國高純電子級(jí)雙氧水產(chǎn)量9.44萬噸,同比增長(zhǎng)32.0%。
雙氧水的顆粒管控重要手段
電子級(jí)雙氧水屬于濕電子化學(xué)品,技術(shù)壁壘較高。雙氧水的顆粒管控也顯得尤為重要。普洛帝測(cè)控專門研發(fā)了針對(duì)雙氧水的顆粒管控設(shè)備PMT-2。在雙氧水生產(chǎn)企業(yè)已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用。
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