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          MF5712-G-250-B-A空氣流量計(jì)-工作原理

          來(lái)源:廣州紋徠儀器儀表有限公司   2023年05月15日 10:04  

          MF5712-G-250-B-A空氣流量計(jì)-工作原理

          MF5700系列氣體質(zhì)量流量計(jì)是基于廣州紋徠儀器儀表有限公司自主研制的MEMS流量傳感芯片,其原理是利用流動(dòng)氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系,在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。

          MF5712-G-250-B-A氣體質(zhì)量流量計(jì)同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測(cè)量。當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時(shí),在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布。- -旦一定質(zhì)量的氣體流過(guò)傳感器時(shí),氣體的流動(dòng)將破壞該溫度場(chǎng)的分布,形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場(chǎng)分布。微機(jī)電系統(tǒng)流量計(jì)芯片上的傳感器將測(cè)量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào),由一個(gè)專門(mén)的電路變送器對(duì)此信號(hào)進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對(duì)傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布所產(chǎn)生的擾動(dòng)不同,因而能測(cè)量氣體的質(zhì)量流量或總流量。下圖為該系列流量計(jì)的原理框圖。



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