手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
什么是納米位移電容傳感器
納米位移電容傳感器由傳感器探頭、放大器和電源組成。具有結(jié)構(gòu)簡單、非接觸、頻響寬等特點，被認為是*性的微位移傳感技術(shù)，廣泛用于納米位移與定位控制系統(tǒng)。
納米位移電容傳感器的工作原理
納米位移電容傳感器是基于理想平板電容原理設(shè)計研發(fā)的，被測物體與傳感器各自作為一個平板電極。給傳感器一個持續(xù)穩(wěn)定的交流電，交流電壓的振幅變化與電容到被測物體之間的距離成正比。交流電經(jīng)過解調(diào)，可以測出位移量。電容式位移傳感器具有信噪比大、靈敏度高、頻響寬、非線性小、精度穩(wěn)定性好、無損耗等特點。
納米位移電容傳感器的特點
1.非線性度小
非接觸式設(shè)計，測量點和被測量點之間不接觸，避免了測量時的干擾，提高了測量的精度。將對被測目標的影響降到低，解決平板電容模型邊緣效應(yīng)，解決常規(guī)采集電容片電場帶來的非線性問題。
2.分辨率高
通過設(shè)計電纜屏蔽和的運放驅(qū)動法進行了優(yōu)化和處理，運用運算放大器來驅(qū)動的方法，用電纜屏蔽和算法，進行優(yōu)化設(shè)計，從而解決了電容值采集值放大，提高了測量的精度，并降低了干擾。解決電容傳感器采集電容容值較低，易受寄生電容和自身電容誤差帶來干擾問題，且在噪聲抑制處理，提高控制系統(tǒng)分辨率。
納米位移電容傳感器的典型應(yīng)用
01.納米位移傳感器用于光刻機曝光鏡頭微調(diào)整系統(tǒng)
納米位移傳感器可用于光刻機的核心部件—曝光鏡頭的位置調(diào)整。
02.納米位移傳感器用于機床主軸位置調(diào)整
機床主軸的轉(zhuǎn)速可高達6000r/min。即使主軸上有微米級別的圓度差異，也會在被加工的材料上留下輕微劃傷，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。為了提高質(zhì)量，有必要對主軸進行圓度測量，三英精控的電容式位移傳感器可以滿足圓度測量的要求。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責(zé)，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心