精密真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)的特點(diǎn)及注意事項

來源：陽明量子科技（深圳）有限公司 2023年07月05日 13:52

　　精密真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)本產(chǎn)品適用于高等院校、科研單位、研究所和*企業(yè)進(jìn)行各種材料表面精密鍍膜的研發(fā)，試樣和小批量重復(fù)性制備。

　　特點(diǎn)：

　　1、集成度高：整套設(shè)備集成一級，二級真空泵，冷卻水循環(huán)，內(nèi)嵌一體化彩色觸摸屏，觸摸控制不同真空泵閥門的通斷，不同蒸發(fā)舟的電流大小。節(jié)省實驗室空間。

　　2、實時監(jiān)控：腔內(nèi)配有自主研發(fā)的精密壓電陶瓷膜厚探頭，實時監(jiān)控鍍膜表面的膜厚，檢測精度可達(dá)1埃/秒(0.1nm/s)。

　　3、多源蒸鍍：配有三組蒸發(fā)源，蒸發(fā)隔板，支持在真空中切換蒸發(fā)源，實現(xiàn)不同蒸發(fā)源多層蒸鍍；支持鉬，鎢蒸發(fā)舟。

　　真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)安全操作注意事項：

　　1、真空電鍍機(jī)操作員要穿著整潔，袖口扣緊(佩戴袖套)，上衣下擺不能敞開，不得穿拖鞋、高跟鞋；

　　2、檢查電路各控制開關(guān)能否正常斷開閉合，電壓指示380±20V；

　　3、檢查各螺釘處連接是否牢固，電控柜、主機(jī)的連接線有無松脫現(xiàn)象、接地是否良好；所有電器的開關(guān)在零或者“關(guān)”的位置上；

　　4、檢查鍍膜機(jī)室內(nèi)不銹鋼擋板的插銷是否牢固，角部有無彎曲翹曲等變形情況；

　　5、檢查水壓、氣壓是否正常；水、油、氣是否有漏滴現(xiàn)象；

　　6、設(shè)備中途停水時，應(yīng)立即關(guān)閉擴(kuò)散泵、粗抽泵、羅茨泵，讓維持泵繼續(xù)運(yùn)行；

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