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探針臺(tái)是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一，其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、 高速器件的精密電氣測(cè)量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。位移探針臺(tái)可以在測(cè)試準(zhǔn)備和測(cè)試過程中準(zhǔn)確移動(dòng)探針位置，實(shí)現(xiàn)微米級(jí)別的電極接觸；同時(shí)探針前端可調(diào)整角度和長度，從而適應(yīng)樣品范圍更加廣泛。
位移探針臺(tái)用途：
1.用于光刻器件的高低溫光電測(cè)試；
2.用于IV、介電常數(shù)、霍爾效應(yīng)、射頻、低溫電路等測(cè)試；
3.可拓展低溫溫控和真空管路模塊，實(shí)現(xiàn)液氮溫度測(cè)量。
探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片，并準(zhǔn)確定位待測(cè)物。探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針*端放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針*端都被設(shè)置在正確的位置，就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試?？梢詫㈦娞结?、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。
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