LIF400型光柵尺德國HEIDENHAIN維修保養(yǎng)及參數(shù)
LIF400型光柵尺德國HEIDENHAIN維修保養(yǎng)及參數(shù)
德國HEIDENHAIN原裝LIF400型光柵尺簡單的說,成像掃描原理采用透射光生成信號,兩路柵距相同或相近的光柵尺光柵與掃描掩膜彼此相對運動。掃描掩膜的基體為透明體,而測量基準上的光柵可透射光或反射光。掃描掩膜與柵尺的相對運動使第一級的衍射光產(chǎn)生相位移:當光柵移過一個柵距時,前一級的+1衍射光在正方向上移過一個光波波長,-1衍射光在負方向上移過一個光波波長。由于這兩束光在離開掃描光柵時相互干涉,光波彼此相對移動兩個光波波長。也就是說,僅相對運動一個柵距可以得到兩個信號周期。當編碼器不動或停電時,依靠計數(shù)設備的內部記憶來記住位置。
這樣,當停電后,編碼器不能有任何的移動,當來電工作時,編碼器輸出脈沖過程中,也不能有干擾而丟失脈沖,不然,計數(shù)設備記憶的零點就會偏移,而且這種偏移的量是無從知道的,只有錯誤的生產(chǎn)結果出現(xiàn)后才能知道。解決的方法是增加參考點,干涉掃描光柵尺的柵距一般為8 m、4 m甚至更小。其掃描信號基本沒有高次諧波,能進行高倍頻細分。因此,這些光柵尺特別適用于高分辨率和高精度應用當平行光穿過光柵時,在一定距離處形成明/暗區(qū)。掃描光柵就位于該位置。
當兩個光柵相對運動時,穿過光柵尺的光被調制,如果狹縫對齊,光線通過。如果一條光柵的柵線與另一條光柵上的狹縫對齊,光線無法通過。光電池組將光強變化轉化成電信號。特殊結構的掃描掩膜將光強調制為近正弦輸出信號。柵距越小,掃描掩膜和光柵尺帶間的間距越小,公差越嚴。
技術參數(shù):
光柵周期8.000 m 熱系數(shù)
線性膨脹0·10-6K-1
準確度等級±1.0微米
測量長度120毫米
參考點位置ML/2——在測量長度的中間
緊固類型可粘附的
厚度 2.90毫米
寬度 10.00毫米
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